[发明专利]一种靶材绑定后的清缝方法

说明书

本发明提供一种靶材绑定后的清缝方法，通过合金钢材质的勾刀先对靶材缝隙进行清理，该勾刀结构稳定强度好，清洁效果佳，通过对勾刀清理过的缝隙先采用单面砂纸清理勾刀未清理的部分，再采用折叠起来双面砂纸对缝隙进行三面打磨清理，再通过吹气清理，最后通过采用EDTA‑二钠清洗剂进行超声波清洗，超声频率呈梯度上升，清洗效果好，可以很好的清缝，清缝彻底完全。

技术领域

本发明涉及靶材绑定领域，尤其涉及一种靶材绑定后的清缝方法。

背景技术

ITO靶材主要用于ITO膜透明导电玻璃的制作，后者是制造平面液晶显示的主要材料，在电子工业、信息产业方面有着广阔而重要的应用。ITO靶材的清洁程度对后续加工的精度起着至关重要的作用。对于ITO旋转靶材的绑定，ITO靶材先进行内侧用铟通过超声波金属化后，再套在导电金属背管上，再用铟进行焊接，ITO靶材与靶材之间间隙填充铁芙蓉进行绑定，绑定完后的间隙要清理干净。如果在拼缝中有铟残留及其它杂质灰尘，则在客户使用过程中会出现打弧现场，造成客户使用异常。现有技术中，往往采用刀片和纸片对靶材的缝隙，进行清理，清理的效果差且耗费严重，操作不当，刀片和纸片容易残留在夹缝中，造成新的污染。

靶材清缝存在以下难点：

1、间隙小，宽度0.2-0.3mm，深度有9-12mm，不好清理。

2、铁芙蓉硬，难清理，在清的过程中，容易造成产品崩角损伤。

3、铟材料软，粘附性强，容易贴在底部及产品侧面，极难清理。

现有技术专利CN103639153A靶材缝隙清洁装置和方法，虽然披露了一种利用吹气装置进行清理的方法，但该方法只能清理浮尘，无法实现深层清洁。因此，如何对靶材进行有效的清洁是个亟待解决的技术难题。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供一种靶材绑定后的清缝方法，通过合金钢材质的勾刀先对靶材缝隙进行清理，该勾刀结构稳定强度好，清洁效果佳，通过对勾刀清理过的缝隙先采用单面砂纸清理勾刀未清理的部分，再采用折叠起来双面砂纸对缝隙进行三面打磨清理，再通过吹气清理，最后通过采用EDTA-二钠清洗剂进行超声波清洗，超声频率呈梯度上升，清洗效果好，可以很好的清缝，清缝彻底完全，解决了背景技术中出现的问题。

本发明的目的是提供一种靶材绑定后的清缝方法，包括有以下步骤：

步骤一：将多个ITO靶材套在背管上绑定在一起，将相邻的ITO靶材之间的缝隙的高温胶首先去除掉；

步骤二：用合金工具钢材质的呈钩状的勾刀，对相邻的ITO靶材之间的缝隙进行来回的清理；

步骤三：取0.15mm厚度的薄细砂纸，单面塞到相邻的ITO靶材之间的缝隙中进行来回的清理；

步骤四：取0.1-0.15mm厚度的砂纸折起来，形成双面的砂纸塞到相邻的ITO靶材之间的缝隙中进行来回的清理，对缝隙里靶材表面打磨，双面砂纸折叠处对缝隙内部底端进行打磨清缝；

步骤五：采用吹气枪对相邻的ITO靶材之间的缝隙中进行吹气清理，清理之后对靶材进行静电湿式除尘；

步骤六：将清理完毕的靶材投入到超声波清洗机内进行超声波振动清洗12-20min。

进一步改进在于：超声波清洗采用EDTA-二钠清洗剂加入到清洗机内，超声波清洗振动频率在前1/2时间内的频率为20-40千赫，中间1/4时间内的频率为40-80千赫，最后1/4时间内的频率为100-200千赫。

进一步改进在于：所述步骤六超声波清洗完毕后，甩干水分，投入到烘箱内进行烘干。

进一步改进在于：所述步骤六超声波清洗的过程中对靶材进行不间歇的旋转，旋转速率为20-30转/分钟。