[发明专利]一种基于晶体共振频率的真空度检测系统

权利要求书

1.一种基于晶体共振频率的真空度检测系统，其特征在于，包括：

石英晶体，所述石英晶体置于待测真空腔体内；

谐振电路，所述谐振电路与所述石英晶体相连，用于控制所述石英晶体进行谐振；

谐振信号发生器，所述谐振信号发生器与所述石英晶体相连，用于控制所述谐振电路发生谐振；

谐振检测器，用于基于所述谐振电路检测所述石英晶体的谐振频率。

2.根据权利要求1所述的基于晶体共振频率的真空度检测系统，其特征在于，所述石英晶体为音叉型石英晶体。

3.根据权利要求1所述的基于晶体共振频率的真空度检测系统，其特征在于，所述石英晶体表面蒸镀有驱动电极，所述驱动电极通过导线连接至谐振电路。

4.根据权利要求1所述的基于晶体共振频率的真空度检测系统，其特征在于，所述谐振电路包括：

第一电容和第二电容，所述第一电容连接在所述石英晶体第一端和地之间，所述第二电容连接在所述石英晶体第二端和地之间；

反相器，所述反相器的输入端与所述石英晶体第一端相连，所述反相器的第二端通过分压电阻与所述石英晶体第二端相连；

反馈电阻，所述反馈电阻与所述反相器并联。

5.根据权利要求1所述的基于晶体共振频率的真空度检测系统，其特征在于，所述谐振电路、谐振信号发生器和/或谐振检测器集成于MCU微处理器内。

6.根据权利要求1所述的基于晶体共振频率的真空度检测系统，其特征在于，所述谐振信号发生器为函数信号发生器，所述谐振检测器为用于对交变电流频率进行测量计数的设备。

7.根据权利要求5所述的基于音叉型石英晶体谐振频率的真空度检测系统，其特征在于，所述谐振检测器为频率计、计数器或示波器。

8.根据权利要求1所述的基于晶体共振频率的真空度检测系统，其特征在于，所述谐振检测器用于基于预设映射关系，输出与检测到的谐振频率相匹配的真空值，所述预设映射关系中存储有所述谐振频率与所述真空值之间的映射关系。

9.根据权利要求1所述的基于晶体共振频率的真空度检测系统，其特征在于，所述谐振电路置于所述待测真空腔体内或腔体外侧。

10.根据权利要求4所述的基于晶体共振频率的真空度检测系统，其特征在于，所述石英晶体的第一端对应的引脚和第二端对应的引脚与所述第一电容和第二电容相连后通过导线引导至所述待测真空腔体外侧。