[发明专利]一种气体浓度检测装置及方法在审
申请号: | 202110350346.4 | 申请日: | 2021-03-31 |
公开(公告)号: | CN113029956A | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 王彪;许玥;朱洪波;李奥奇;黄硕;连厚泉;戴童欣 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/61;G01N21/552 |
代理公司: | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人: | 高一明;郭婷 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 气体 浓度 检测 装置 方法 | ||
1.一种气体浓度检测方法,其特征在于,包括激光器(1)、第一探测单元、第二探测单元、气室(2)、分光器(6);
所述第一探测单元设置在所述分光器(6)反射光路上、所述第二探测单元设置在所述分光器(6)透射光路上;
所述第二探测单元包括参比池(3),所述参比池(3)用于接收所述分光器(6)透射出的光束;
所述第一探测单元在所述气室(2)内,所述第二探测单元在所述气室(2)外。
2.根据权利要求1所述的一种气体浓度检测方法,其特征在于,所述分光器(6)设置在所述气室(2)的内部并与接收到的光线呈45°夹角;
所述参比池(3)中设置有标准气体。
3.根据权利要求1所述的一种气体浓度检测方法,其特征在于,所述分光器(6)为半反半透镜,所述半反半透镜将接收到的光束一半反射出去,一半透射出去。
4.根据权利要求1所述的一种气体浓度检测方法,其特征在于,所述第一探测单元包括第一会聚透镜(7)、第一光电探测器(8);
所述第一会聚透镜(7)用于接收所述分光器(6)反射发出的光束并对接收到的光束进行聚集,所述第一光电探测器(8)用于探测第一会聚透镜(7)透射出的光束。
5.根据权利要求1所述的一种气体浓度检测方法,其特征在于,所述第二探测单元还包括第二会聚透镜(4)、第二光电探测器(9);
所述第二会聚透镜(4)用于接收所述参比池(3)透射出的光束并进行光束会聚,所述第二光电探测器(9)用于对所述第二会聚透镜(4)透射的光束进行探测。
6.一种气体浓度检测方法,其特征在于,包括:
S1:分光器(6)将待检测入射的光线分为两部分,反射光进入第一探测单元,透射光进入第二探测单元;
S2:第一探测单元探测出所述反射光的光强度,进行反演运算并得出DAB;所述透射光在所述第二探测单元先经过用于盛装标准气体的参比池(3),探测出光强度后进行反演运算并得出DAC;
S3:计算气体浓度Dresult:
其中,DAC为所述第一光电探测器(8)经反演运算出的气体浓度DAC,DAB为所述第二光电探测器(9)经反演运算出的气体浓度。
7.一种气体浓度检测方法,其特征在于,还包括:
S4:多次进行气体浓度Dresult检测计算,并对多次求出的Dresult进行均值计算得出为气室(2)内的真实气体浓度值。
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