[发明专利]基于流动法测定比表面积的孔道集成模块及测试方法有效

专利信息
申请号: 202110344420.1 申请日: 2021-03-29
公开(公告)号: CN113109454B 公开(公告)日: 2022-03-11
发明(设计)人: 张辉;佟美琪;袁畅;回朝妍;高宇;贾梦涵 申请(专利权)人: 北京科技大学
主分类号: G01N30/00 分类号: G01N30/00;G01N7/04
代理公司: 北京市广友专利事务所有限责任公司 11237 代理人: 张仲波
地址: 100083*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 基于 流动 测定 表面积 孔道 集成 模块 测试 方法
【权利要求书】:

1.一种基于流动法测定比表面积的孔道集成模块,其特征在于:包括配气模块(1)和气体导向模块(2),配气模块(1)和气体导向模块(2)配合在一起,由混气腔密封圈凹槽(8)和标定通道密封圈凹槽(10)及放入两个凹槽的O形密封圈进行密封,配气模块(1)底座两边各开有两个螺钉紧固孔(25),在螺钉紧固孔(25)装入螺钉,实现配气模块(1)和气体导向模块(2)的紧固;配气模块(1)和气体导向模块(2)中的孔道由固定于表面的座装式电磁阀相连通或阻断,每一个座装式电磁阀(32)都具有相同的结构,由座装式电磁阀进气口(32.1)和座装式电磁阀出气口(32.2)组成,不同位置处座装式电磁阀(32)的通电与断电能够控制孔道中气体的流动路线;

所述配气模块(1)和气体导向模块(2)的材质为导热良好的金属材料;

其中,配气模块(1)上钻探了直径不大于3mm,深度大于20mm的孔道,包括氮气入口(3)、氦气入口(4)、氮气混气阀入口(5.1)、氮气混气阀出口(5.2)、氦气混气阀入口(6.1)、氦气混气阀出口(6.2)、氮气标定阀入口(7.1)、氮气标定阀出口(7.2)、混气腔密封圈凹槽(8)、混气腔(9)、标定通道密封圈凹槽(10)和标定通道(11);混气腔(9)为配气模块(1)与气体导向模块(2)扣合后形成的同一轴线方向的空腔,混气腔(9)一部分位于配气模块(1)中,另一部分位于气体导向模块(2)中;标定通道(11)为配气模块(1)与气体导向模块(2)扣合后形成的同一轴线方向的空腔,标定通道(11)一部分位于配气模块(1)中,另一部分位于气体导向模块(2)中;

外部氮气供应管路通过氮气入口(3)与配气模块(1)相连,外部氦气供应管路通过氦气入口(4)与配气模块(1)相连;配气模块(1)与氮气混气阀(5)通过氮气混气阀入口(5.1)和氮气混气阀出口(5.2)相连,氮气混气阀入口(5.1)与座装式电磁阀进气口对准,氮气混气阀出口(5.2)与座装式电磁阀出气口对准;

配气模块(1)与氦气混气阀(6)通过氦气混气阀入口(6.1)和氦气混气阀出口(6.2)相连,氦气混气阀入口(6.1)与座装式电磁阀进气口对准,氦气混气阀出口(6.2)与座装式电磁阀出气口对准;

配气模块(1)与氮气标定阀(7)通过氮气标定阀入口(7.1)和氮气标定阀出口(7.2)相连,氮气标定阀入口(7.1)与座装式电磁阀进气口对准,氮气标定阀出口(7.2)与座装式电磁阀出气口对准;

氮气经过氮气入口(3)进入配气模块(1)后分为两路,一路经氮气标定阀(7)进入标定通道(11),另一路经过氮气混气阀(5)进入混气腔(9);氦气经过氦气入口(4)进入配气模块(1),再经过氦气混气阀(6)进入混气腔(9);进入混气腔(9)的氮气与氦气充分混合均匀;

气体导向模块(2)上钻探了直径不大于3mm,深度大于20mm的孔道,包括混气腔(9)、标定通道(11)、参考臂入口(12)、样品管出口(13)、混气测量阀入口(14.1)、混气测量阀出口(14.2)、测量臂入口(15)、测量臂出口(16)、放空阀入口(17.1)、放空阀出口(17.2)、流量测量口(18)、流量测量阀入口(19.1)、流量测量阀出口(19.2)、放空口(20)、定量管入口(21)、定量管出口(22)、混气标定阀入口(23.1)、混气标定阀出口(23.2)、定量管出口阀入口(24.1)和定量管出口阀出口(24.2);

定量管(26)是具有固定体积的外部管道,通过定量管入口(21)和定量管出口(22)与气体导向模块(2)相连;皂膜流量计(28)通过流量测量口(18)和外部管路与气体导向模块(2)相连;样品管(27)的出气口通过样品管出口(13)和外部管路与气体导向模块(2)相连;热导池(29)由热导池测量臂(30)和热导池参考臂(31)组成,气体导向模块(2)通过热导池参考臂入口(12)和外部管路与热导池参考臂(31)的入口相连,气体导向模块(2)通过热导池测量臂入口(15)和外部管路与热导池测量臂(30)的入口相连,气体导向模块(2)通过热导池测量臂出口(16)和外部管路与热导池测量臂(30)的出口相连,热导池参考臂(31)的出口通过外部管路与样品管(27)的入气口相连;

气体导向模块(2)与混气测量阀(14)通过混气测量阀入口(14.1)和混气测量阀出口(14.2)相连,混气测量阀入口(14.1)与座装式电磁阀进气口对准,混气测量阀出口(14.2)与座装式电磁阀出气口对准;

气体导向模块(2)与放空阀(17)通过放空阀入口(17.1)和放空阀出口(17.2)相连,放空阀入口(17.1)与座装式电磁阀进气口对准,放空阀出口(17.2)与座装式电磁阀出气口对准;

气体导向模块(2)与流量测量阀(19)通过流量测量阀入口(19.1)和流量测量阀出口(19.2)相连,流量测量阀入口(19.1)与座装式电磁阀进气口对准,流量测量阀出口(19.2)与座装式电磁阀出气口对准;

气体导向模块(2)与混气标定阀(23)通过混气标定阀入口(23.1)和混气标定阀出口(23.2)相连,混气标定阀入口(23.1)与座装式电磁阀进气口对准,混气标定阀出口(23.2)与座装式电磁阀出气口对准;

气体导向模块(2)与定量管出口阀(24)通过定量管出口阀入口(24.1)和定量管出口阀出口(24.2)相连,定量管出口阀入口(24.1)与座装式电磁阀进气口对准,定量管出口阀出口(24.2)与座装式电磁阀出气口对准。

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