[发明专利]一种单点双流体清洗方法及装置在审
| 申请号： | 202110338111.3 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113070261A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 柯锐;文娟 | 申请（专利权）人： | 苏州阿洛斯环境发生器有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B11/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单点 双流 清洗 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种单点双流体清洗方法，用于对工件上的无机和/或有机脏污进行清洗，其特征在于，包括以下步骤：
双流体清洗喷嘴单元向工件的待清洗点喷射双流体，所述双流体在所述待清洗点上形成冲击区，
其中，所述双流体为水蒸气和液态水的混合物。
2.根据权利要求1所述的一种单点双流体清洗方法，其特征在于，所述双流体在所述待清洗点上形成冲击区后，所述双流体清洗喷嘴单元停止喷射，气体定向喷嘴单元向所述冲击区喷射干燥的气体射流。
3.根据权利要求1所述的一种单点双流体清洗方法，其特征在于，所述混合物形成含有微纳气泡的微小液滴。
4.根据权利要求1或3所述的一种单点双流体清洗方法，其特征在于，所述双流体的液滴粒径为100-400 um；所述双流体的射流速度大于等于250 m/s。
5.一种基于权利要求1-4中任意一项所述的一种单点双流体清洗方法的单点双流体清洗装置，其特征在于，包括：载具、所述双流体清洗喷嘴单元以及所述气体定向喷嘴单元。
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