[发明专利]真空箱门及真空箱在审

专利信息
申请号: 202110317623.1 申请日: 2021-03-25
公开(公告)号: CN114396747A 公开(公告)日: 2022-04-26
发明(设计)人: 潘钙;王国峰;杨忠武 申请(专利权)人: 青岛惠科微电子有限公司;青岛惠芯微电子有限公司;北海惠科半导体科技有限公司
主分类号: F25D11/00 分类号: F25D11/00;F25D23/02;F25D29/00
代理公司: 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 代理人: 邢涛
地址: 266200 山东省青*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 空箱
【说明书】:

发明公开了一种真空箱门及真空箱,真空箱门包括底座、连接片和插销;所述底座开设有第一插销孔,在所述连接片上开设有第二插销孔,所述插销穿过所述第一插销孔和第二插销孔后将所述底座与连接片连接起来,所述底座与连接片可绕所述插销相对转动;所述底座固定设置在真空箱的框架上,所述连接片设置在真空箱的门板上;其中,所述门铰链装置包括一可视化精度调节装置,所述可视化精度调节装置包括在所述底座上开设有带内螺纹的第一插销调节孔、与所述第一插销调节孔适配螺接的第一插销调节旋钮、和可视化标记,所述第一插销调节旋钮与所述插销垂直并抵顶设置;所述可视化标记可量化显示所述第一插销调节旋钮旋入所述第一插销调节孔之中的深度。

技术领域

本发明涉及真空箱的制备领域,尤其涉及一种真空箱门及真空箱。

背景技术

真空箱,是一种常见的干燥设备,常用于实验室或生产车间,主要用于通过真空泵抽真空的方式来干燥置于真空箱中的相关物件、化学物质等;这种干燥方式,干燥速度快、干燥/效果好,且可以避免空气中粉尘污染等优点。

为了使真空箱得到有效密封,在其框架(也可以说是腔体)和门板之间的接触面上粘贴右密封胶条,密封胶条可以粘贴在框架上,也可以粘贴在门板上。在真空箱的门板手动合上后,由于密封胶条的伸缩性,门板对应的初始基准面一般低于密封胶条的原值,即有一定的密封下压距离。最后通过真空泵抽吸腔体内部的空气吸附门板,实现腔体的负压,实现密封效果。

现有的真空箱的门板铰链是固定焊接的,不能调节门板对应的初始基准面,长时间工作后就会因为磨损等原因,在门板关闭后其基准面未达到初始位置,导致真空吸附效果不好,漏真空;或者如果当密封胶条的厚度发生变化,原门板对应的初始基准面就会发生变化,此时出现门板关闭不严或者关闭不上等后果,也会导致漏真空。在解决这一问题时,基本上通过调整门铰链来实现。然而,现有门铰链调节也是技术人员根据个人经验操作,具体调节到哪种精度或间隙距离,没有一个可量化的装置,这就造成不同人员操作,调整后的间隙距离也是不一样的,甚至间隙漏气问题一直得不到解决。

发明内容

基于上述问题,发明所要解决的问题在于提供一种可视化精度调节密封效果的真空箱门,及使用该真空箱门的真空箱。

本发明的技术方案一如下:

一种真空箱门,包括底座、连接片和插销;所述底座开设有第一插销孔,在所述连接片上开设有第二插销孔,所述插销穿过所述第一插销孔和第二插销孔后将所述底座与连接片连接起来,所述底座与连接片可绕所述插销相对转动;所述底座固定设置在真空箱的框架上,所述连接片设置在真空箱的门板上;

其中,所述门铰链装置包括一可视化精度调节装置,所述可视化精度调节装置包括在所述底座上开设有带内螺纹的第一插销调节孔、与所述第一插销调节孔适配螺接的第一插销调节旋钮、和可视化标记,所述第一插销调节旋钮与所述插销垂直并抵顶设置;所述可视化标记可量化显示所述第一插销调节旋钮旋入所述第一插销调节孔之中的深度。

一实施例,所述真空箱门中,所述可视化标记包括第一传感器和第二传感器,所述第一传感器检测所述第一插销调节旋钮旋入所述第一插销调节孔之中的深度;所述第一显示屏数字化显示所述第一传感器检测的深度。

一实施例,所述真空箱门中,所述可视化精度调节装置还包括第一自动调节驱动结构,所述第一自动调节驱动结构驱动连接所述第一插销调节旋钮;所述第一自动调节驱动结构接收输入的指令,并根据所述指令驱动所述第一插销调节旋钮在所述第一插销调节孔中旋入预设距离;所述第一自动调节驱动结构内置于所述第一插销调节孔中。

一实施例,所述真空箱门中,所述真空箱门包括锁紧组件和门把手组件,所述锁紧组件设置在真空箱的框架上,所述门把手组件设置在真空箱的门板上,所述锁紧组件和门把手组件将所述真空箱的门板与所述框架紧固锁合,使设置在所述门板和框架之间的密封胶条将所述门板与框架密封起来;其中:所述锁紧组件包括锁紧固定块和锁紧件;所述锁紧固定块固定安装在所述框架上,而所述锁紧件安装在所述锁紧固定块上;

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