[发明专利]一种双面叉指换能器的兰姆波器件及其制备方法

权利要求书

1.一种双面叉指换能器的兰姆波器件，其特征在于：包括压电基底以及设置于所述压电基底正反两面的叉指换能器；

所述叉指换能器包括设置于所述压电基底一侧的激发叉指换能器和设置于所述压电基底另一侧的接收叉指换能器，所述激发叉指换能器和所述接收叉指换能器均包括一对梳形电极，所述梳形电极包括若干电极指，所述一对梳形电极的电极指相向间隔交叉排列，并且所述激发叉指换能器同一面上相邻所述电极指的电极正负交替设置；

所述激发叉指换能器输入交流电信号，经所述压电基底的逆压电效应激发兰姆波并传播出去，且最终传播至所述接收叉指换能器区域时，经所述压电基底的压电效应，所述接收叉指换能器将所述兰姆波转换成交流电信号输出；

所述压电基底的正面两侧分别设置激发叉指换能器和接收叉指换能器，所述压电基底的反面在其正面所述激发叉指换能器和所述接收叉指换能器的位置，分别对应设置第二组所述激发叉指换能器和所述接收叉指换能器；

所述压电基底的反面在正面所述激发叉指换能器的位置，对应设置第二组所述激发叉指换能器；或者所述压电基底的反面在正面所述接收叉指换能器的位置，对应设置第二组所述接收叉指换能器；

所述压电基底的正面一侧设置所述激发叉指换能器，所述压电基底的反面在所述激发叉指换能器相对的一侧设置所述接收叉指换能器；

所述压电基底正反两面同一侧的两组所述激发叉指换能器或两组所述接收叉指换能器相对应电极指的电极相同或相反。

2.根据权利要求1所述一种双面叉指换能器的兰姆波器件，其特征在于：所述压电基底为压电单晶或者压电薄膜。

3.一种双面叉指换能器的兰姆波器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

压电基底上表面通过平面光刻工艺，剥离方式制作金属电极形成叉指换能器；

所述压电基底下表面由可进行双面对准光刻机通过平面光刻工艺，剥离方式制作金属电极形成叉指换能器。

4.一种双面叉指换能器的兰姆波器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

压电基底上表面通过平面光刻工艺，剥离方式制作金属电极形成叉指换能器；

将所述压电基底反过来旋涂光刻胶；

利用所述压电基底上表面制作的叉指换能器为掩模，对其下表面的光刻机进行曝光；

通过显影剥离方式在所述压电基底下表面形成叉指换能器。