[发明专利]一种骨传导传声装置

权利要求书

1.一种骨传导传声装置，其特征在于，包括：

由振动单元和声学换能单元形成的叠层结构；

基体结构，被配置为承载所述叠层结构，所述叠层结构的至少一侧与所述基体结构通过物理方式进行连接；

所述基体结构基于外部振动信号产生振动，所述振动单元响应于所述基体结构的振动发生形变；所述声学换能单元基于所述振动单元的形变产生电信号。

2.根据权利要求1所述的骨传导传声装置，其特征在于，所述骨传导传声装置的谐振频率为1kHz-5kHz。

3.根据权利要求2所述的骨传导传声装置，其特征在于，所述骨传导传声装置的谐振频率为2.5kHz-4.5kHz。

4.根据权利要求3所述的骨传导传声装置，其特征在于，所述骨传导传声装置的谐振频率为2.5KHz-3.5kHz。

5.根据权利要求1所述的骨传导传声装置，其特征在于，所述骨传导传声装置的谐振频率与所述振动单元的刚度成正相关的关系。

6.根据权利要求1所述的骨传导传声装置，其特征在于，所述骨传导传声装置的谐振频率与所述叠层结构的质量成负相关的关系。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的骨传导传声装置，其特征在于，所述振动单元包括至少一个支撑臂和质量元件，所述质量元件通过所述至少一个支撑臂与所述基体结构连接。

8.根据权利要求7所述的骨传导传声装置，其特征在于，所述声学换能单元包括由上至下依次设置的第一电极层、第一压电层和第二电极层，所述第一电极层或所述第二电极层与所述至少一个支撑臂的上表面或下表面连接。

9.根据权利要求8所述的骨传导传声装置，其特征在于，所述第一电极层、所述第一压电层和/或所述第二电极层的面积不大于所述支撑臂的面积，所述第一电极层、所述第一压电层和/或第二电极层的局部或全部覆盖所述至少一个支撑臂的上表面或下表面。

10.根据权利要求8所述的骨传导传声装置，其特征在于，所述声学换能单元包括至少一个弹性层，所述至少一个弹性层位于所述第一电极层或所述第二电极层的上表面和/或下表面。

11.根据权利要求10所述的骨传导传声装置，其特征在于，所述声学换能单元还包括第一种子层，所述第一种子层设于所述弹性层与所述第一电极层之间或设于所述弹性层与所述第二电极层之间。

12.根据权利要求8所述的骨传导传声装置，其特征在于，所述骨传导传声装置上形成有中性层，所述中性层在所述支撑臂发生形变时形变应力为零；所述中性层与所述第一压电层在厚度方向上不重合。

13.根据权利要求8所述的骨传导传声装置，其特征在于，所述第一电极层的厚度为80nm-250nm，和/或所述第二电极层的厚度为80nm-250nm。

14.根据权利要求8所述的骨传导传声装置，其特征在于，所述第一压电层的厚度为0.8um-2um。

15.根据权利要求10所述的骨传导传声装置，其特征在于，所述弹性层的厚度是所述第一压电层的厚度的1-6倍。

16.根据权利要求7所述的骨传导传声装置，其特征在于，所述质量元件的厚度为1um-400um。

17.根据权利要求7所述的骨传导传声装置，其特征在于，所述质量元件包括由下至上依次设置的基底层、第三电极层、第二压电层以及第四电极层。