[发明专利]一种用于温室薄膜的超疏水改性方法有效
| 申请号： | 202110309075.8 | 申请日： | 2021-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN113073291B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 平建峰;张琪;应义斌 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 温室 薄膜 疏水 改性 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于温室薄膜的超疏水改性方法，其特征在于：方法具体如下：
1)将PE膜置于感应耦合等离子体刻蚀仪中；
2)通过感应耦合等离子体刻蚀仪对PE膜的上表面进行刻蚀处理一段时间，使得在PE膜上表面形成纳米纹理化结构；
所述步骤2)中，设置的ICP功率为100W，RF功率为50W；气体选择O2和CHF3，气压为30毫托，处理时间为10min；
3)通过感应耦合等离子体刻蚀仪对PE膜的上表面进行沉积处理一段时间，使得在纳米纹理化结构上表面沉积一层氟碳层，完成改性并取出；
所述步骤3)中，设置的ICP功率为100W，RF功率为50W，气体选择八氟环丁烷C4F8；气压为30mTorr；处理时间30s；
所述步骤3)中，八氟环丁烷C4F8的流量设置为50sccm。
2.根据权利要求1所述的一种用于温室薄膜的超疏水改性方法，其特征在于：所述步骤2)中，O2和CHF3的流量比例为1：3。
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