[发明专利]声波装置、滤波器和多路复用器

权利要求书

1.一种声波装置，该声波装置包括：

支撑基板；

压电层，所述压电层位于所述支撑基板之上；

至少一对梳状电极，所述至少一对梳状电极设置在所述压电层上，所述至少一对梳状电极中的每一个包括激发声波的电极指；

温度补偿膜，所述温度补偿膜介于所述支撑基板和所述压电层之间，所述温度补偿膜具有等于或小于所述电极指的平均节距的2倍的厚度，所述温度补偿膜的弹性常数的温度系数的符号与所述压电层的弹性常数的温度系数的符号相反；以及

边界层，所述边界层介于所述支撑基板和所述温度补偿膜之间，所述边界层具有等于或大于所述电极指的平均节距的2.2倍的厚度，通过所述边界层传播的横波的声速小于通过所述支撑基板传播的横波的声速并且大于通过所述温度补偿膜传播的横波的声速。

2.根据权利要求1所述的声波装置，其中，通过所述温度补偿膜传播的所述横波的声速小于通过所述压电层传播的所述横波的声速。

3.根据权利要求1或2所述的声波装置，其中，所述温度补偿膜的定位为靠近所述支撑基板的第一表面与所述压电层的定位为靠近所述一对梳状电极的第二表面之间的距离等于或小于所述电极指的平均节距的2倍。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的声波装置，其中，所述边界层的厚度等于或大于所述电极指的平均节距的4.0倍。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的声波装置，其中，通过所述支撑基板传播的所述横波的声速等于或大于通过所述边界层传播的所述横波的声速的1.1倍。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的声波装置，其中，通过所述边界层传播的所述横波的声速等于或大于通过所述温度补偿膜传播的所述横波的声速的1.1倍。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的声波装置，其中，所述横波是体波。

8.根据权利要求3所述的声波装置，该声波装置还包括接合层，所述接合层介于所述温度补偿膜与所述压电层之间。

9.根据权利要求1至8中的任一项所述的声波装置，其中，所述压电层是主要由钽酸锂或铌酸锂组成的单晶体，所述温度补偿膜是主要由氧化硅组成的多晶体或主要由氧化硅组成的非晶体，所述边界层是主要由氧化铝组成的多晶体或主要由氧化铝组成的非晶体，并且所述支撑基板是蓝宝石基板或碳化硅基板。

10.根据权利要求1至9中的任一项所述的声波装置，其中，所述电极指的平均节距是通过将所述至少一对梳状电极在所述电极指排列的方向上的长度除以所述电极指的数量而计算出的值。

11.一种滤波器，该滤波器包括：

根据权利要求1至10中的任一项所述的声波装置。

12.一种多路复用器，该多路复用器包括：

根据权利要求11所述的滤波器。