[发明专利]流量诊断装置、流量诊断方法和程序存储介质

权利要求书

1.一种流量诊断装置，其特征在于，包括：

主线路，在上游侧设置有作为流量传感器或流量控制装置的诊断对象，在下游侧设置有具有预定容量的容器；

分支线路，在所述主线路中从所述容器的上游侧分支；

第一开闭阀，设置在所述分支线路上；

第二开闭阀，在所述主线路上设置在所述分支线路的分支点与所述容器之间；

死区容积，是在所述主线路和所述分支线路中将所述诊断对象规定为上游端、将所述第一开闭阀和所述第二开闭阀规定为下游端的容积；

第一压力控制机构，在打开所述第一开闭阀且关闭所述第二开闭阀而使流体不流入所述容器的准备模式中，控制流过所述分支线路的流体，以将所述死区容积内的流体的压力保持为第一设定压力；

第二压力控制机构，在实施了所述准备模式之后，在关闭第一开闭阀且打开所述第二开闭阀而使流体流入所述容器的流入模式中，控制流过所述主线路的流体，以将所述死区容积内的流体的压力保持为第二设定压力；以及

基准流量算出部，基于从所述流入模式开始到所述第二开闭阀关闭而所述流入模式结束为止的期间流入所述容器的流体所引起的压力变化，算出作为流入所述容器的流体的流量的基准流量。

2.根据权利要求1所述的流量诊断装置，其特征在于，所述基准流量算出部基于所述流入模式开始到结束的经过时间、以及所述流入模式开始的时点的初始压力与从所述流入模式结束起经过预定时间后的稳定后压力的压差，来算出基准流量。

3.根据权利要求1所述的流量诊断装置，其特征在于，

所述第一压力控制机构包括：

第一压力传感器，在所述分支线路上设置于比所述第一开闭阀更靠下游侧，或者设置于所述死区容积；

第一控制阀，设置在所述分支线路上；以及

第一压力控制器，基于所述第一设定压力与由所述第一压力传感器测定的第一测定压力的偏差，控制所述第一控制阀。

4.根据权利要求3所述的流量诊断装置，其特征在于，

所述第二压力控制机构包括：

第二压力传感器，在所述主线路上设置于比所述第二开闭阀更靠下游侧，或者设置于所述死区容积；

第二控制阀，设置在所述分支线路上；以及

第二压力控制器，基于所述第二设定压力与由所述第二压力传感器测定的第二测定压力的偏差，控制所述第二控制阀。

5.根据权利要求4所述的流量诊断装置，其特征在于，所述第一压力传感器和所述第二压力传感器是设置于所述死区容积的同一压力传感器。

6.根据权利要求4所述的流量诊断装置，其特征在于，所述第二设定压力是在所述流入模式开始的时点由所述第二压力传感器测定的初始压力。

7.根据权利要求2所述的流量诊断装置，其特征在于，所述基准流量算出部基于所述流入模式中的最大压力或该最大压力附近的压力、以及所述稳定后压力，对基于所述经过时间、所述压差和气体的状态方程式算出的修正前流量进行修正，来算出基准流量。

8.根据权利要求1所述的流量诊断装置，其特征在于，在流过所述主线路的流量为预定值以上的情况下，所述第二压力控制机构构成为在所述流入模式中不进行所述死区容积内的流体的压力控制。

9.根据权利要求1所述的流量诊断装置，其特征在于，

设定为在所述容器内的压力成为预定压力的时点结束所述流入模式，

在所述流入模式开始到结束的经过时间为规定时间以下的情况下，所述第二压力控制机构构成为在所述流入模式中不进行所述死区容积内的流体的压力控制。

10.根据权利要求9所述的流量诊断装置，其特征在于，基于利用所述第二压力控制机构的压力控制而开始所述流入模式到所述死区容积的压力稳定为所述第二设定压力为止所需的稳定化时间，来设定所述规定时间。