[发明专利]基于白光照明的计算光学成像装置及方法在审
申请号: | 202110263270.1 | 申请日: | 2021-03-11 |
公开(公告)号: | CN113049544A | 公开(公告)日: | 2021-06-29 |
发明(设计)人: | 张军勇;张秀平;张艳丽;李垚村 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01N21/47 | 分类号: | G01N21/47;G01N21/01 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 白光 照明 计算 光学 成像 装置 方法 | ||
1.一种基于白光照明的计算光学成像装置,其特征在于,包括白光光源(1)、导模共振滤波片(2)、供导模共振滤波片(2)放置的旋转镜架(3)、供被测物体(4)放置的三维平移台(5)、图像探测器(6)和计算机(7),所述的图像探测器(6)的输出端与所述的计算机(7)的输入端连接;
所述的白光光源(1)发出的光脉冲入射到所述的导模共振滤波片(2),透过该模共振滤波片(2)的光束作为入射光束,通过旋转所述的旋转镜架(3),得到不同波长的入射光束;
所述的入射光束经所述的被测物体(4)透过后,到达所述的图像探测器(6),通过移动所述的三维平移台(5),使所述的图像探测器(6)上出现所述的被测物体(4)的衍射强度图,并传输至所述的计算机(7)。
2.利用权利要求1所述的基于白光照明的计算光学成像装置进行成像的方法,其特征在于,该方法包括下列步骤:
1)开启所述的白光光源(1),该白光光源(1)发出的光脉冲入射到所述的导模共振滤波片(2);
旋转所述的旋转镜架(3),旋转角度分别为θ1、θ2、θ3...θn,使所述的导模共振滤波片(2)出射得到波长分别为λ1、λ2、λ3...λn的入射光束,并由所述的图像探测器(6)分别记录所述的被测物体(4)的衍射强度图I1(x,y,λ1)、I2(x,y,λ2)、I3(x,y,λ3)...In(x,y,λn),其中,n为正整数,(x,y)为记录面的空间坐标分布;
2)所述的图像探测器(6)将探测的n幅衍射强度图I1(x,y,λ1)、I2(x,y,λ2)、I3(x,y,λ3)...In(x,y,λn)输送至所述的计算机(7)存储,该计算机(7)利用编写的程序进行迭代运算,一次完整的迭代过程包括以下步骤:
①当入射光束的波长为λ1时,设记录面上所述的被测物体(4)的衍射光波复振幅为其中,相位分布为任意常数;
利用角谱衍射传播理论将U1(x,y,λ1)逆向传输d至物平面,得到该被测物体(4)的复振幅其中,d为所述的被测物体(4)和图像探测器(6)的间距,(x0,y0)为物平面的空间坐标分布;
②当入射光束的波长为λ2时,所述的被测物体(4)的复振幅分布为
将U1(x0,y0,λ2)正向传输d至记录面,得到该被测物体(4)的衍射光波复振幅
利用记录的强度值I2(x,y,λ2)对复振幅U1(x,y,λ2)的振幅分布进行替换与更新,其相位分布保持不变,得到:
将U1(x,y,λ2)逆向传输d至物平面,得到该被测物体(4)的复振幅分布
③当入射光束的波长为λ3...λn,依次重复步骤②的操作,得到所述的被测物体(4)的复振幅分布
④当入射光束的波长为λ1时,所述的被测物体(4)的复振幅分布为
以上步骤①-④为一次完整的迭代过程;
3)经过m(m为整数,且m>=1)次迭代后,得到入射光束的波长为λ1时,所述的被测物体(4)的复振幅分布为其中,Um+1(x0,y0,λ1)的振幅分布与U′m(x0,y0,λn)的振幅分布相同,Um+1(x0,y0,λ1)的相位分布为U′m(x0,y0,λn)的相位分布的λn/λ1倍;
4)将Um+1(x0,y0,λ1)正向传输d至记录面,得到所述的被测物体(4)的衍射光波复振幅
计算复振幅分布Um+1(x,y,λ1)的归一化均方误差E:
其中,∑k表示对矩阵的行列求和;
5)设定常数值ε;当E大于或等于ε时,重复①-④的迭代过程,往复迭代,以达到E小于ε的效果;当E小于ε时,结束迭代过程,得到该被测物体(4)的复振幅分布Um+1(x0,y0,λ1),即成像,公式如下:
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