[发明专利]基于白光照明的计算光学成像装置及方法在审

专利信息
申请号: 202110263270.1 申请日: 2021-03-11
公开(公告)号: CN113049544A 公开(公告)日: 2021-06-29
发明(设计)人: 张军勇;张秀平;张艳丽;李垚村 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G01N21/47 分类号: G01N21/47;G01N21/01
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 201800 *** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 基于 白光 照明 计算 光学 成像 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种基于白光照明的计算光学成像装置,其特征在于,包括白光光源(1)、导模共振滤波片(2)、供导模共振滤波片(2)放置的旋转镜架(3)、供被测物体(4)放置的三维平移台(5)、图像探测器(6)和计算机(7),所述的图像探测器(6)的输出端与所述的计算机(7)的输入端连接;

所述的白光光源(1)发出的光脉冲入射到所述的导模共振滤波片(2),透过该模共振滤波片(2)的光束作为入射光束,通过旋转所述的旋转镜架(3),得到不同波长的入射光束;

所述的入射光束经所述的被测物体(4)透过后,到达所述的图像探测器(6),通过移动所述的三维平移台(5),使所述的图像探测器(6)上出现所述的被测物体(4)的衍射强度图,并传输至所述的计算机(7)。

2.利用权利要求1所述的基于白光照明的计算光学成像装置进行成像的方法,其特征在于,该方法包括下列步骤:

1)开启所述的白光光源(1),该白光光源(1)发出的光脉冲入射到所述的导模共振滤波片(2);

旋转所述的旋转镜架(3),旋转角度分别为θ1、θ2、θ3...θn,使所述的导模共振滤波片(2)出射得到波长分别为λ1、λ2、λ3...λn的入射光束,并由所述的图像探测器(6)分别记录所述的被测物体(4)的衍射强度图I1(x,y,λ1)、I2(x,y,λ2)、I3(x,y,λ3)...In(x,y,λn),其中,n为正整数,(x,y)为记录面的空间坐标分布;

2)所述的图像探测器(6)将探测的n幅衍射强度图I1(x,y,λ1)、I2(x,y,λ2)、I3(x,y,λ3)...In(x,y,λn)输送至所述的计算机(7)存储,该计算机(7)利用编写的程序进行迭代运算,一次完整的迭代过程包括以下步骤:

①当入射光束的波长为λ1时,设记录面上所述的被测物体(4)的衍射光波复振幅为其中,相位分布为任意常数;

利用角谱衍射传播理论将U1(x,y,λ1)逆向传输d至物平面,得到该被测物体(4)的复振幅其中,d为所述的被测物体(4)和图像探测器(6)的间距,(x0,y0)为物平面的空间坐标分布;

②当入射光束的波长为λ2时,所述的被测物体(4)的复振幅分布为

将U1(x0,y0,λ2)正向传输d至记录面,得到该被测物体(4)的衍射光波复振幅

利用记录的强度值I2(x,y,λ2)对复振幅U1(x,y,λ2)的振幅分布进行替换与更新,其相位分布保持不变,得到:

将U1(x,y,λ2)逆向传输d至物平面,得到该被测物体(4)的复振幅分布

③当入射光束的波长为λ3...λn,依次重复步骤②的操作,得到所述的被测物体(4)的复振幅分布

④当入射光束的波长为λ1时,所述的被测物体(4)的复振幅分布为

以上步骤①-④为一次完整的迭代过程;

3)经过m(m为整数,且m>=1)次迭代后,得到入射光束的波长为λ1时,所述的被测物体(4)的复振幅分布为其中,Um+1(x0,y0,λ1)的振幅分布与U′m(x0,y0,λn)的振幅分布相同,Um+1(x0,y0,λ1)的相位分布为U′m(x0,y0,λn)的相位分布的λn1倍;

4)将Um+1(x0,y0,λ1)正向传输d至记录面,得到所述的被测物体(4)的衍射光波复振幅

计算复振幅分布Um+1(x,y,λ1)的归一化均方误差E:

其中,∑k表示对矩阵的行列求和;

5)设定常数值ε;当E大于或等于ε时,重复①-④的迭代过程,往复迭代,以达到E小于ε的效果;当E小于ε时,结束迭代过程,得到该被测物体(4)的复振幅分布Um+1(x0,y0,λ1),即成像,公式如下:

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所,未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110263270.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top