[发明专利]一种复合缓蚀剂ODA-SN-NaSiC及含其的低电导率水在审
| 申请号： | 202110258921.8 | 申请日： | 2021-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN113046752A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 谢学军;张瑜;李嘉晨 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | C23F11/06 | 分类号： | C23F11/06;C23F11/16 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 李丹 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 复合 缓蚀剂 oda sn nasic 电导率 | ||
【权利要求书】：
1.一种复合缓蚀剂ODA-SN-NaSiC，其特征在于，化学成分按重量百分比为：
十八烷基胺55％～60％、磺胺衍生物25％～30％、硅酸钠5％～10％、碳酸氢钠5％～10％。
2.根据权利要求1所述复合缓蚀剂ODA-SN-NaSiC，其特征在于，化学成分按重量百分比为：
十八烷基胺60％、磺胺衍生物30％、硅酸钠5％、碳酸氢钠5％。
3.一种低电导率水，其特征在于，包括如权利要求1或2所述复合缓蚀剂ODA-SN-NaSiC。
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