[发明专利]一种基于游标效应的光纤法布里珀罗传感器的增敏方法有效
申请号: | 202110233859.7 | 申请日: | 2021-03-03 |
公开(公告)号: | CN113124912B | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
发明(设计)人: | 蔡小磊;覃亚丽;蔡礼邹;郑欢 | 申请(专利权)人: | 浙江工业大学 |
主分类号: | G01D5/353 | 分类号: | G01D5/353 |
代理公司: | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人: | 王利强 |
地址: | 310014 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 游标 效应 光纤 法布里珀罗 传感器 方法 | ||
1.一种基于游标效应的光纤法布里珀罗传感器的增敏方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:
步骤1,设计单腔法布里珀罗传感器作为传感干涉仪,传感干涉仪的腔长为L1,波长为λ的光从光源入射传感干涉仪,入射光在干涉腔的第一个反射面的反射光强为I1,第二个反射面的反射光强为I2,由光谱仪测量得到的传感干涉仪的反射光谱为Is;
步骤2,将传感干涉仪置于环境参量Z中,当环境参量Z发生ΔZ的变化时,传感干涉仪的腔长L1发生ΔL1的变化,腔长的变化导致光谱仪测得的光谱发生偏移,通过观测光谱波谷对应的波长λm的偏移得到传感干涉仪对环境参量的灵敏度S1;
步骤3,在计算机中根据法布里珀罗干涉原理生成参考干涉仪的反射光谱Ir,定义参考干涉仪的腔长为L2,入射光在干涉腔的第一个反射面的反射光强为I3,第二个反射面的反射光强为I4,初始相位为
步骤4,将传感干涉仪和参考干涉仪的反射光谱叠加实现游标效应,得到总反射光谱I=Is+Ir,其包络谱由常数项A和带有初始相位的余弦项构成,由于传感干涉仪的反射光谱随着环境参量发生偏移,总反射光谱也会发生偏移,通过观测总反射光谱的包络谱波谷对应的波长λe的偏移可以得到实现游标效应后传感器对环境参量的灵敏度S2;
步骤5,得到实现游标效应后传感器的灵敏度放大倍数同时,实现游标效应后传感器的分辨率re和传感干涉仪分辨率rs满足即通过叠加光谱实现了基于游标效应的法布里珀罗传感器的增敏方法;
步骤6,由于参考干涉仪的反射光谱Ir是根据法布里珀罗干涉原理生成的,所以可以通过设置参考干涉仪的腔长L2和折射率n来控制放大倍数M和分辨率re。
2.如权利要求1所述的一种基于游标效应的光纤法布里珀罗传感器的增敏方法,其特征在于,所述步骤2中,环境参量Z为温度、应变或压强。
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