[发明专利]储液槽储液状态侦测方法及装置

说明书

本发明提供一种储液槽储液状态侦测方法及装置，其在判断所述储液槽的储液状态时采用不同的预设值作为参考依据，避免了现有技术中采用同一预设值作为参考依据而带来的误报警，避免影响半导体器件的处理，且大大减少了半导体机台停机次数，大大提高了生产效率。

技术领域

本发明涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种储液槽储液状态侦测方法及装置。

背景技术

在某些半导体机台中，需要利用液体对半导体器件进行清洗或干燥处理。通常，需要监测储液槽内的液体的储液状态，以判断是否满足要求。所述液体的储液状态包括满(full)和空(empty)两种。通常，利用传感器来侦测干燥槽中液体的储液状态，在实际应用中，经常会出现传感器侦测错误而触发机台误报警的情况。

机台误报警的缺点在于，一方面会导致半导体器件停留在储液槽内，影响到半导体器件的处理；另一方面会导致半导体机台停机次数增加，降低生产效率。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，提供一种储液槽储液状态侦测方法及装置，其能够避免半导体机台误报警，避免影响半导体器件的处理，且能够提高半导体器件的处理效率，进而提高生产效率。

为了解决上述问题，本发明提供了一种储液槽储液状态侦测方法，所述储液状态包括第一状态及第二状态，所述方法包括：当需要侦测所述储液状态是否为第一状态时，对所述储液槽进行测量，获得第一光检测值，并判断所述第一光检测值是否大于第一预设值，若是，则判定所述储液状态为第一状态；当需要侦测所述储液状态是否为第二状态时，对所述储液槽进行测量，获取第二光检测值，并判断所述第二光检测值是否小于第二预设值，若是，则判定所述液位为第二状态；其中，所述第一预设值小于所述第二预设值。

进一步，根据所述储液槽内的液体的折射率，调整所述第一预设值和所述第二预设值。

进一步，根据所述储液槽内的液体的黏度，调整所述第一预设值和第二预设值。

进一步，所述第一状态设置为所述储液槽内的液体为低液位时的状态，所述第二状态设置为所述储液槽内的液体为高液位时的状态。

进一步，所述第一光检测值大于所述第二光检测值。

进一步，所述第一光检测值及所述第二光检测值为设置于所述储液槽预设位置处的光纤传感器检测的反射光的光强。

进一步，所述方法进一步包括：当需要侦测所述储液状态是否为第一状态时，通过设置于所述储液槽预设位置处的光纤传感器获得第一反射光强，将所述第一反射光强与所述光纤传感器的总光强的比值作为所述第一光检测值；当需要侦测所述储液状态是否为第二状态时，通过所述光纤传感器获得第二反射光强，将所述第二反射光强与所述光纤传感器的总光强的比值作为所述第二光检测值。

进一步，当需要侦测所述储液状态是否为第一状态时，对所述储液槽进行测量，获得第一光检测值，并判断所述第一光检测值是否大于第一预设值，若否，则判定所述储液状态不是第一状态，发出警报；当需要侦测所述储液状态是否为第二状态时，对所述储液槽进行测量，获取第二光检测值，并判断所述第二光检测值是否小于第二预设值，若否，则判定所述液位不是第二状态，发出警报。

本发明还提供一种用于上述的侦测方法的侦测装置，其包括：光纤传感器，设置于所述储液槽的预设位置处，用于当需要侦测所述储液状态是否为第一状态或第二状态时对所述储液槽进行光测量；检测器，包括第一通道及第二通道，当需要侦测所述储液状态是否为第一状态时，所述第一通道与所述光纤传感器电连接，用于获取第一光检测值，当需要侦测所述储液状态是否为第二状态时，所述第二通道与所述光纤传感器电连接，用于获取第二光检测值；控制器，与所述检测器电连接，用于当需要侦测所述储液状态是否为第一状态时，判断所述第一光检测值是否大于第一预设值，当需要侦测所述储液状态是否为第二状态时，判断所述第二光检测值是否小于第二预设值，其中，所述第一预设值小于所述第二预设值。