[发明专利]一种光纤FP谐振腔温度传感器及制作方法有效

专利信息
申请号: 202110203165.9 申请日: 2021-02-23
公开(公告)号: CN112964386B 公开(公告)日: 2022-06-14
发明(设计)人: 李惠;赵庆超;张发祥;马龙;王昌;倪家升 申请(专利权)人: 山东省科学院激光研究所
主分类号: G01K11/32 分类号: G01K11/32;G01K1/08;G01K1/16
代理公司: 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 代理人: 朱晓熹
地址: 272000 山东省济宁市*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 光纤 fp 谐振腔 温度传感器 制作方法
【权利要求书】:

1.一种光纤FP谐振腔温度传感器,其特征在于,包括光纤FP谐振腔(1),其中,所述光纤FP谐振腔(1)包括腔管(11),所述腔管(11)为高硼硅玻璃形成的毛细管,所述腔管(11)的一端设置入射光纤(12),所述腔管(11)的另一端设置反射光纤(13),所述入射光纤(12)和所述反射光纤(13)相对的端部之间设置间距;

所述光纤FP谐振腔(1)外套接设置第一保护管(2),所述第一保护管(2)的两端密封,且所述第一保护管(2)腔内填充导热介质(4),所述导热介质(4)为金属汞,所述导热介质(4)不充满所述第一保护管(2)腔内;

所述第一保护管(2)和所述腔管(11)固定连接于连接座(5),所述连接座(5)上固定设置套接在所述第一保护管(2)外的镂空的第二保护管(7),所述连接座(5)连接光纤保护套(10),所述光纤FP谐振腔(1)的入射光纤(12)设置于所述光纤保护套(10)。

2.根据权利要求1所述的光纤FP谐振腔温度传感器,其特征在于,所述入射光纤(12)和所述反射光纤(13)为单模光纤。

3.根据权利要求1所述的光纤FP谐振腔温度传感器,其特征在于,所述第一保护管(2)为金属铜构成的管结构。

4.根据权利要求1所述的光纤FP谐振腔温度传感器,其特征在于,所述入射光纤(12)连接解调装置,所述解调装置通过反射光谱确定所述光纤FP谐振腔(1)的光谐振腔的长度,并根据长度计算温度。

5.一种光纤FP谐振腔温度传感器制作方法,用于制作权利要求1-4任一所述光纤FP谐振腔温度传感器,其特征在于,包括:

(1)切割设定长度的高硼硅玻璃毛细管作为腔管,切割单模光纤作为入射光纤和反射光纤;

(2)将所述入射光纤插入所述腔管的一端,将所述腔管的另一端密封,以烧蚀将所述入射光纤与所述腔管连接;

(3)将所述腔管另一端的密封打开,将所述反射光纤插入所述腔管的另一端,将所述反射光纤与所述腔管的另一端通过烧蚀的方式连接;

(4)将所述腔管与连接座连接;

(5)将第一保护管与所述连接座密封连接,并将所述第一保护管内填充导热介质之后密封,所述导热介质为金属汞,在填充所述导热介质时,所述导热介质不充满所述第一保护管腔内;将所述连接座与第二保护管连接,将所述连接座与光纤保护套连接;

(6)通过恒温装置对所述光纤FP谐振腔温度传感器进行温度定标。

6.根据权利要求5所述的光纤FP谐振腔温度传感器制作方法,其特征在于,所述腔管与所述连接座,所述第一保护管与所述连接座之间采用高频加热的低熔点玻璃焊接的方式连接,所述连接座与所述第二保护管通过螺纹或者卡扣连接,所述连接座与所述光纤保护套通过密封胶密封连接。

7.根据权利要求5所述的光纤FP谐振腔温度传感器制作方法,其特征在于,在切割所述单模光纤前对单模光纤的光纤损耗进行检测,筛选出符合指标的所述单模光纤。

8.根据权利要求5所述的光纤FP谐振腔温度传感器制作方法,其特征在于,按照设定的所述腔管中的所述入射光纤的端面位置与烧蚀位置的长度来烧蚀所述腔管与所述入射光纤;按着设定的长度控制所述反射光纤和所述入射光纤插入所述腔管的长度。

9.根据权利要求5所述的光纤FP谐振腔温度传感器制作方法,其特征在于,通过恒温装置对所述光纤FP谐振腔温度传感器进行温度定标包括:

将所述光纤FP谐振腔温度传感器设置于所述恒温装置;

将所述光纤FP谐振腔温度传感器连接解调装置;

设定所述恒温装置温度,所述解调装置通过反射光谱确定所述光纤FP谐振腔温度传感器中光谐振腔的长度,实现光谐振腔的长度与温度的对应定标。

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