[发明专利]一种用于晶圆生产的固定设备

权利要求书

1.一种用于晶圆生产的固定设备，其结构包括固定盘（1）、箱体（2）、显示器（3）、控制板（4），所述固定盘（1）滑动于箱体（2）前端，所述显示器（3）安装于控制板（4）的上面，所述控制板（4）电连接于箱体（2）的左下角，其特征在于：所述固定盘（1）设有壳体（11）、夹合块（12），所述壳体（11）安装于固定盘（1）的中部，所述夹合块（12）与壳体（11）内部间隙配合，所述夹合块（12）设有主块（21）、底块（22），所述底块（22）右侧与主块（21）左端嵌固连接，所述主块（21）设有块身（211）、导风槽（212）、排屑管（213），所述导风槽（212）位于块身（211）左端，所述排屑管（213）安装于块身（211）内部，所述排屑管（213）设有管体（131）、挡块（132）、振弹块（133）、弹层（134），所述挡块（132）安装于管体（131）内部，所述振弹块（133）与弹层（134）底部嵌固连接，所述弹层（134）与管体（131）内部底端间隙配合，所述挡块（132）设有块体（321）、起伏层（322）、囊条（323）、复弹球（324），所述起伏层（322）安装于块体（321）顶部，所述囊条（323）两端与起伏层（322）内壁嵌固连接，所述复弹球（324）安装于块体（321）内部，所述振弹块（133）设有连接板（331）、压开块（332）、推块（333），所述压开块（332）上下两端分别与推块（333）嵌固连接，所述连接板（331）安装于推块（333）上下两端；接通控制板（4）的电源，使箱体（2）的固定盘（1）伸出，将待加工的晶圆放于固定盘（1）上，操作控制板（4）使固定盘（1）壳体（11）内的夹合块（12）顶块与底块分别向左右两侧滑动，其内部其他的夹合块（12）之间相互滑动配合，将向内收缩成圆形以夹固晶圆，便于后续的加工，主块（21）左端的小凸块减小接触面而提高固定时的稳定性，使晶圆不会受加工时的振动而产生位移，底块（22）在夹合完毕时中间的镂空可使晶圆得到通风透气的效果，避免生产时的高温而损坏晶圆，导风槽（212）可通过夹合块（12）的夹合或打开时，所产生的气流导向主块（21）左侧的小凸块，从而主块（21）与晶圆的接触面上残留小颗粒得以清除，块身（211）内的排屑管（213）可借助导风槽（212）流动的气体，将小颗粒吹出主块（21）；排屑管（213）管体（131）内的挡块（132）呈锥形状，为防止导出的小颗粒随气体的流动而反向跑入主块（21），管体（131）内底部的弹层（134）可由惯性弹动的振弹块（133），将其带动上下起伏，使留于管体（131）底部的小颗粒能够更好地被清出管体（131），挡块（132）上的起伏层（322）可受块体（321）内部的复弹球（324），因夹合块（12）夹合或打开时的突然停止而产生的惯性上下跳动，从而使囊条（323）推动起伏层（322）与囊条（323）之间的气体，使起伏层（322）向上弹动，从而挡块（132）上的小颗粒可被弹向排屑管（213）的出口，振弹块（133）的推块（333）在受夹合块（12）夹合或打开时的突然停止而产生的惯性，继续向下运动而将压开块（332）挤压，挤压后压开块（332）的回弹力推动推块（333），使推块（333）带动连接板（331）推开弹层（134）。