[发明专利]一种采用仿角蜥蜴-红瓶子草联合结构吸液芯的超薄平板热管及其加工方法

权利要求书

1.一种采用仿角蜥蜴-红瓶子草联合结构吸液芯的超薄平板热管，其特征在于：

包括上板和下板；

所述上板和下板均加工有平行沟道阵列和正交沟道阵列；

平行沟道阵列与正交沟道阵列两区域相接，且平行沟道阵列中沟道的设置方向与正交沟道阵列中其中一个方向的沟道设置方向一致；

平行沟道阵列和正交沟道阵列的沟道均为截面呈等腰梯形的仿角蜥蜴皮肤毛细结构；

平行沟道阵列和正交沟道阵列的沟道底面加工有若干截面呈V形且与所在沟道设置方向相同的微米V形次级沟道；

平行沟道阵列、正交沟道阵列、微米V形次级沟道的各沟道表面均加工有由纳米团簇构成的超亲液纳米结构；

上板和下板加工有沟道一面正对焊接，依次通过抽真空、充工质、除气、密封制成超薄平板热管，所述工质为水、丙酮、乙醇、钠或钾，平行沟道阵列为平板热管的冷凝端吸液芯，正交沟道阵列为平板热管的沸腾端吸液芯。

2.根据权利要求1所述的采用仿角蜥蜴-红瓶子草联合结构吸液芯的超薄平板热管，其特征在于：

所述上板和下板的厚度为0.1-6.0mm。

3.根据权利要求1所述的采用仿角蜥蜴-红瓶子草联合结构吸液芯的超薄平板热管，其特征在于：

所述平行沟道阵列和正交沟道阵列的沟道顶部宽度为50-1000μm，沟道侧壁锥度0-40°，沟道深度是沟道顶部宽度的1-5倍，沟道间距是沟道底部宽度的1-5倍。

4.根据权利要求1所述的采用仿角蜥蜴-红瓶子草联合结构吸液芯的超薄平板热管，其特征在于：

所述微米V形次级沟道的宽度、深度、间距为1-50μm。

5.根据权利要求1所述的采用仿角蜥蜴-红瓶子草联合结构吸液芯的超薄平板热管，其特征在于：

所述上板和下板的材料为钛、铜或不锈钢。

6.根据权利要求1所述的采用仿角蜥蜴-红瓶子草联合结构吸液芯的超薄平板热管，其特征在于：

所述平行沟道阵列和正交沟道阵列均由激光加工制成。

7.根据权利要求1所述的采用仿角蜥蜴-红瓶子草联合结构吸液芯的超薄平板热管，其特征在于：

所述微米V形次级沟道由激光加工制成。

8.根据权利要求1所述的采用仿角蜥蜴-红瓶子草联合结构吸液芯的超薄平板热管，其特征在于：

所述超亲液纳米结构采用电化学阳极氧化、碱性氧化或化学刻蚀加工制成。

9.如权利要求1-8任意一项所述的采用仿角蜥蜴-红瓶子草联合结构吸液芯的超薄平板热管的加工方法，其特征在于：

包括以下步骤：

S1、利用激光分别在上板和下板的基底上加工出平行沟道阵列和正交沟道阵列，以及相应沟道底面的微米V形次级沟道；

S2、采用电化学阳极氧化、碱性氧化或化学刻蚀在平行沟道阵列、正交沟道阵列和微米V形次级沟道的各表面加工出超亲液纳米结构；

S3、将上板和下板加工有沟道的一面正对焊接，依次通过抽真空、充工质、除气、密封制成超薄平板热管，工质为水、丙酮、乙醇、钠或钾。

10.根据权利要求9所述的采用仿角蜥蜴-红瓶子草联合结构吸液芯的超薄平板热管的加工方法，其特征在于：

S1具体包括以下步骤：

S1.1、分别在上板和下板基底的冷凝端加工出具有微米V形次级沟道的相互平行的燕尾形沟道阵列，作为平行沟道阵列及其沟道底面的微米V形次级沟道；

所述具有微米V形次级沟道的相互平行的燕尾形沟道阵列的具体加工方法为：步骤一、利用反射镜、物镜将飞秒激光光束倾斜角度聚焦，在基底上加工出斜槽阵列，作为燕尾形沟道阵列的一侧沟道；步骤二、调整飞秒激光输出功率，在步骤一加工出的沟道底面加工出微米V形次级沟道；步骤三、利用精密电动转台将前序步骤加工的样品水平旋转180°，将飞秒激光光斑聚焦在斜槽底部，调整飞秒激光输出功率，采用与步骤一相同的加工参数在斜槽坡面加工出另一侧斜槽，作为燕尾形沟道阵列的另一侧沟道，获得相互平行的燕尾形沟道阵列；步骤四、调整飞秒激光输出功率，在步骤三加工出的沟道底面加工出微米V形次级沟道；

或者，所述具有微米V形次级沟道的相互平行的燕尾形沟道阵列的具体加工方法为：步骤一、利用反射镜、物镜将飞秒激光光束倾斜角度聚焦，在基底上加工出斜槽阵列，作为燕尾形沟道阵列的一侧沟道；步骤二、利用精密电动转台将前序步骤加工的样品水平旋转180°，将飞秒激光光斑聚焦在斜槽底部，采用与步骤一相同的加工参数在斜槽坡面加工出另一侧斜槽，作为燕尾形沟道阵列的另一侧沟道，获得相互平行的燕尾形沟道阵列；步骤三、调整飞秒激光输出功率，在步骤二加工出的沟道底面加工出微米V形次级沟道；步骤四、利用精密电动转台将前序步骤加工的样品水平旋转180°，采用与步骤三相同的加工参数在步骤一加工出的沟道底面加工出微米V形次级沟道；

S1.2、分别在上板和下板基底的沸腾端加工出具有微米V形次级沟道的相互平行的燕尾形沟道阵列，作为正交沟道阵列的其中一个方向的沟道阵列，然后利用精密电动转台将加工后的样品旋转90°，再加工出具有微米V形次级沟道的相互平行的燕尾形沟道阵列，作为正交沟道阵列的另一个方向的沟道阵列，获得正交沟道阵列及其沟道底面的微米V形次级沟道。