[发明专利]玻璃检测机台在审
| 申请号： | 202110190143.3 | 申请日： | 2021-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN112964731A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 詹雅芳;王仕宇;郑国清 | 申请（专利权）人： | 日月光半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/94 | 分类号： | G01N21/94;G01N21/958;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台湾高雄市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃 检测 机台 | ||
1.一种玻璃检测机台，其特征在于，包括：
载台；
支撑件，位于所述载台上，所述支撑件用于将所述玻璃固定在所述载台上方，并且所述支撑件用于在所述玻璃和所述载台之间形成空间；
取像装置，设置在所述载台和所述支撑件上方，所述取像装置用于获取和接收所述玻璃的影像。
2.根据权利要求1所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述取像装置是电荷耦合器件(CCD)相机。
3.根据权利要求1所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述空间的高度大于所述玻璃的厚度的二倍。
4.根据权利要求1-3任一项所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述空间的高度大于600μm。
5.根据权利要求1所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述支撑件包括用于固定所述玻璃的顶部边缘。
6.根据权利要求5所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述顶部边缘包括共用构造成L形的纵向部和横向部，所述玻璃放置在所述横向部上，所述纵向部横向围绕所述玻璃。
7.根据权利要求6所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述纵向部的顶面与所述玻璃的顶面齐平。
8.根据权利要求6所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述纵向部的顶面高于所述玻璃的顶面。
9.根据权利要求6所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述横向部设置有用于吸附固定所述玻璃的第一真空吸孔。
10.根据权利要求5所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述支撑件还包括连接于所述顶部边缘的所述横向部的十字支架，所述十字支架和所述横向部均接触所述玻璃。
11.根据权利要求10所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述十字支架设置有用于吸附固定所述玻璃的第二真空吸孔。
12.根据权利要求10所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述支撑件还包括连接于所述横向部和所述十字支架的复数个延伸部，所述复数个延伸部接触并支撑所述玻璃。
13.根据权利要求1所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述载台的面向所述玻璃的表面涂覆有抗反射材料。
14.根据权利要求1所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述载台、所述支撑件和所述玻璃具有相似形状的外轮廓。
15.根据权利要求1所述的玻璃检测机台，其特征在于，在所述载台和所述玻璃之间存在颗粒。
16.根据权利要求15所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述颗粒位于所述载台的上表面上并且与所述玻璃隔开。
17.根据权利要求15所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述颗粒位于所述玻璃的下表面上并且与所述载台隔开。
18.根据权利要求15所述的玻璃检测机台，其特征在于，在所述玻璃的上表面上也存在颗粒。
19.根据权利要求1所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述玻璃是透光的，并且所述玻璃的表面未涂覆有其他材料。
20.根据权利要求1所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述空间由所述载台、所述支撑件以及所述玻璃包围，并且所述空间为真空的。
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