[发明专利]一种基于硼烯的光热电转换薄膜器件及其制备方法有效
| 申请号: | 202110158417.0 | 申请日: | 2021-02-05 |
| 公开(公告)号: | CN112510142B | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
| 发明(设计)人: | 鲍桥梁;吴琳 | 申请(专利权)人: | 南京卓永创光电科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L35/18 | 分类号: | H01L35/18;H01L35/22;H01L35/34;F24S70/20 |
| 代理公司: | 杭州华宸联名知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33352 | 代理人: | 黄欢娣 |
| 地址: | 210058 江苏省南京市栖霞*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 基于 热电 转换 薄膜 器件 及其 制备 方法 | ||
1.一种基于硼烯的光热电转换薄膜器件,其特征在于,包括:
温差发电层、位于温差发电层一侧的光吸收层,和位于所述温差发电层另一侧的散热层,所述光吸收层由硼烯薄膜构成,所述光吸收层具有增大表面积和光吸收率的周期性纳米结构,所述周期性纳米结构是波浪形、方波形或三角波形;所述温差发电层为Bi2Te3或Sb2Te3;所述温差发电层在厚度方向形成温度梯度,通过热电效应产生电势差。
2.根据权利要求1所述的光热电转换薄膜器件,其特征在于,所述光吸收层和温差发电层之间具有导热层。
3.根据权利要求2所述的光热电转换薄膜器件,其特征在于,所述导热层是金、银、铜、硅、氮化硼、石墨烯、聚酰亚胺(PI)或聚对苯二甲酸乙二酯(PET)的薄膜材料。
4.根据权利要求1所述的光热电转换薄膜器件,其特征在于,所述散热层是具有散热通道的薄膜结构或具有增强散热功能的散热涂层。
5.一种基于硼烯的光热电转换薄膜器件的制备方法,其特征在于,
步骤1) 选取面积为0.25cm2到25cm2、厚度为1μm到200μm的Bi2Te3或Sb2Te3薄膜材料作为温差发电层;在一侧的表面上蒸镀金、银、铜、硅或涂覆氮化硼、石墨烯、聚酰亚胺(PI)、聚对苯二甲酸乙二酯(PET)以形成导热层,所述导热层厚度为50nm到10μm;温差发电层另一侧与散热层复合;
步骤2) 配比浓度为0.1mg/mL到10.0mg/mL的硼烯纳米材料分散液,然后将其均匀涂覆在上述具有导热层的薄膜表面;
步骤3) 利用飞秒激光刻蚀或者紫外曝光刻写硼烯薄膜的周期性纳米结构,形成光吸收层。
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