[发明专利]一种底物液供液装置

权利要求书

1.一种底物液供液装置，其特征在于，包括底物瓶组件（1）、底物液输送组件（2）、阻尼组件（3）；

所述底物瓶组件（1）包括多组用于盛装底物液的底物瓶（101），每组底物瓶包括多个用于盛装底物液的底物瓶（101），每组底物瓶的瓶盖（102）通过横梁（103）连成一体；

所述底物液输送组件（2）包括置于底物瓶（101）上方的多个三通阀（201）、与三通阀（201）相连的一端置于底物瓶（101）内的底物液输送管（202）、与三通阀（201）控制连接的控制器及用于抽取每个底物瓶（101）内底物液的底物泵；所述三通阀（201）包括两个进口和一个出口，所述三通阀（201）的两个进口分别与两个用于盛装同一种底物液的底物瓶（101）相连，所述三通阀（201）的一个出口用于通过底物液输送管（202）输出底物液，所述三通阀（201）的出口与所述底物泵的入口连通，所述控制器用于在其中一个底物瓶（101）内液位低于阈值时，控制所述三通阀（201）切换至与另一盛装同一底物液的底物瓶（101）相连通；

所述阻尼组件（3）用于控制一组底物瓶的瓶盖（102）及贯穿瓶盖（102）与瓶盖（102）相连的底物液输送管（202）的高度，所述阻尼组件（3）包括直线轴承（301）、贯穿直线轴承（301）并与直线轴承（301）滑动连接的导杆（302）、固定导杆（302）上下两端的上轴座（310）和下轴座（311）、固定直线轴承（301）的固定座（303）、设置于固定座（303）侧面的弹簧（304）和手柄（305）、通过导向销（306）固定于固定座（303）上的阻尼块（307）及与阻尼块（307）表面相接触的侧阻尼板（309），所述阻尼块（307）上形成有供弹簧（304）伸入的凹槽，所述侧阻尼板（309）、上轴座（310）和下轴座（311）固定在底物液供液装置的外壳上，所述固定座（303）与设置于瓶盖（102）之间的横梁（103）上的连接块（308）固定连接；

所述导向销（306）与阻尼块（307）间有允许所述阻尼块（307）自由浮动的间隙。

2.根据权利要求1所述的底物液供液装置，其特征在于，所述底物液供液装置还包括底物瓶装载组件（4），所述底物瓶装载组件（4）包括用于装载一组底物瓶（101）的瓶座（401）、用于固定瓶座（401）的底座（402）、位于瓶座（401）上方的压板（403），所述瓶座（401）的上侧外边沿形成有导向条（4011），所述底座（402）与压板（403）之间形成有导向槽，所述导向条（4011）滑动设置于所述导向槽内。

3.根据权利要求1或2所述的底物液供液装置，其特征在于，所述底物瓶组件（1）包括两组用于盛装底物液的底物瓶，每组底物瓶包括两个底物瓶（101）。

4.根据权利要求1或2所述的底物液供液装置，其特征在于，所述底物瓶（101）内均安装有与控制器连接的液位传感器，所述液位传感器用于检测底物瓶（101）内的液位，当检测到所述底物瓶（101）内液位低于阈值时，通过控制器控制所述三通阀（201）切换至与另一盛装有同一底物液的底物瓶（101）相连通。

5.根据权利要求1或2所述的底物液供液装置，其特征在于，所述固定座（303）的左右两侧均通过导向销（306）固定设置有两个阻尼块（307），两个阻尼块（307）的表面分别与两个固定设置在底物液供液装置外壳上的两个侧阻尼板（309）表面相接触。

6.根据权利要求1或2所述的底物液供液装置，其特征在于，所述弹簧（304）和阻尼块（307）上的凹槽均为至少两个，每个凹槽内放置一个弹簧（304）。

7.根据权利要求1或2所述的底物液供液装置，其特征在于，所述底物液输送管（202）采用耐腐蚀的PTFE管，所述PTFE管外套设有耐腐蚀金属管。

8.根据权利要求1或2所述的底物液供液装置，其特征在于，所述底物瓶（101）的瓶盖（102）侧面设置有透气孔。

9.根据权利要求1或2所述的底物液供液装置，其特征在于，所述底物液供液装置还包括报警电路，用于在检测到底物瓶（101）内的液位低于设定阈值时报警。