[发明专利]研磨用带盒在审

专利信息
申请号: 202110076488.6 申请日: 2021-01-20
公开(公告)号: CN114571328A 公开(公告)日: 2022-06-03
发明(设计)人: 郑道淳;崔荣燮;禹贞济 申请(专利权)人: HB技术有限公司
主分类号: B24B21/04 分类号: B24B21/04;B24B21/18;B24B41/00
代理公司: 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 代理人: 郭放;崔春植
地址: 韩国忠*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 研磨 用带盒
【权利要求书】:

1.一种研磨用带盒,其保管基板中缺陷研磨用带,其特征在于,包括:

第一轮,其包括用于与研磨装置结合的第一结合构造,上述带安放于上述第一轮;

第二轮,其包括用于与研磨装置结合的第二结合构造而接受从外部提供的旋转力,上述带的末端固定于上述第二轮;

第一固定部,其与上述第一轮结合而防止上述带从上述第一轮脱离;

第二固定部,其与上述第二轮结合而防止上述带的末端从上述第二轮脱离;

张力条,其用一个面与上述第一固定部及上述第二固定部接触,并用另一个面与上述盒的壳体接触,以防止上述第一固定部和上述第二固定部脱离;以及

壳体,其在一个面包括分别用于安放上述第一轮和上述第二轮的多个槽部以及为了研磨上述基板中的缺陷而对上述带进行加压的研磨装置所能够进入的进入槽。

2.根据权利要求1所述的研磨用带盒,其特征在于,

上述第一轮和上述第二轮各自在中央包括用于与上述研磨装置结合的结合孔。

3.根据权利要求2所述的研磨用带盒,其特征在于,

上述第一结合构造和上述第二结合构造分别形成于上述结合孔的周边。

4.根据权利要求1所述的研磨用带盒,其特征在于,

上述第一固定部和上述第二固定部分别包括朝向上述张力条所在的方向突出的突出部。

5.根据权利要求4所述的研磨用带盒,其特征在于,

上述张力条与在上述第一固定部及上述第二固定部中所包括的各突出部接触,减小接触面积。

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