[发明专利]一种金刚线切割单晶硅片用制绒剂及其制备方法

权利要求书

1.一种金刚线切割单晶硅片用制绒剂，其特征在于：包括以下重量份的组分：聚乙二醇0.01~10份、全氟类表面活性剂0.1～3份、含胺类表面活性剂0.1～5份、糖类化合物0.05～1份、乙二醇单丁醚0.3～5份、成核剂0.1～5份、没食子酸酯0.05～1.5份、N甲基吡咯烷酮10～35份、苯甲酸钠0.1～2份、萘磺酸盐甲醛缩合物0.001～0.2份和去离子水20～60份。

2.根据权利要求1所述的一种金刚线切割单晶硅片用制绒剂，其特征在于：包括以下重量份的组分：聚乙二醇0.5~5份、全氟类表面活性剂0.3～1.5份、含胺类表面活性剂0.2～1份、糖类化合物0.1～0.8份、乙二醇单丁醚0.6～2份、成核剂0.3～3份、没食子酸酯0.2～1份、N甲基吡咯烷酮20～30份、苯甲酸钠0.2～0.8份、萘磺酸盐甲醛缩合物0.005～0.05份和去离子水30～50份。

3.根据权利要求1所述的一种金刚线切割单晶硅片用制绒剂，其特征在于：所述聚乙二醇为聚乙二醇200、聚乙二醇400、聚乙二醇600和聚乙二醇1000中的一种或多种。

4.根据权利要求1所述的一种金刚线切割单晶硅片用制绒剂，其特征在于：所述全氟类表面活性剂为全氟己基磺酸钾、全氟己基磺酸铵、全氟辛基磺酸钾、全氟辛基磺酸四乙基铵、全氟辛基磺酸铵和全氟丁基磺酸钾中的一种或多种。

5.根据权利要求1所述的一种金刚线切割单晶硅片用制绒剂，其特征在于：所述含胺类表面活性剂为脂肪胺聚氧乙烯醚、椰子油二乙醇酰胺和N-N’亚甲基双丙烯酰胺中的一种或多种。

6.根据权利要求1所述的一种金刚线切割单晶硅片用制绒剂，其特征在于：所述糖类化合物为葡萄糖、羧甲基纤维素钠、羟乙基纤维素钠、辛基琥珀酸淀粉钠和羟丙基纤维素钠中的一种或多种。

7.根据权利要求1所述的一种金刚线切割单晶硅片用制绒剂，其特征在于：所述成核剂为没食子酸。

8.根据权利要求1所述的一种金刚线切割单晶硅片用制绒剂，其特征在于：所述没食子酸酯为没食子酸丙酯和/或没食子酸甲酯。

9.一种金刚线切割单晶硅片用的制绒液，其特征在于：所述制绒液由碱溶液和如权利要求1所述的制绒剂组成，所述碱溶液与所述制绒剂的质量比为100：0.5~2，所述碱溶液为氢氧化钠溶液，所述氢氧化钠在碱溶液中的含量为1.5 wt%。

10.一种金刚线切割单晶硅片用制绒剂的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1、将配方量的糖类化合物加入配方量的去离子水溶解，得制绒组分A；

S2、将配方量的乙二醇单丁醚和N甲基吡咯烷酮混合，加入配方量的聚乙二醇、全氟类表面活性剂、含胺类表面活性剂、成核剂、没食子酸酯、苯甲酸钠和萘磺酸盐甲醛缩合物，溶解，得制绒组分B；

S3、将所述制绒组分A与制绒组分B混合，用酸调pH至4~5。