[发明专利]基于IAP平台的气路图实现方法及装置

说明书

本发明一个或多个实施例公开了一种基于IAP平台的气路图实现方法及装置，用以解决现有的气路图实现方式难以对气路图进行及时变更的问题。包括：接收针对气路图的绘制请求，绘制请求中携带气路图对应的可编辑文件的文件标识信息；基于文件标识信息，读取可编辑文件，获取保存在可编辑文件中的气路图中各目标控件的属性信息，以及各目标控件的属性信息和IAP平台中控件数据之间的关联关系；根据关联关系，从IAP平台获取各目标控件的属性信息对应的控件数据；根据各目标控件的属性信息，在气路图编辑界面上生成气路图，并在气路图上显示各目标控件的属性信息，和/或对应的控件数据。该方案能够确保对气路图的及时变更。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种基于IAP平台的气路图实现方法及装置。

背景技术

气路图是半导体制造设备控制软件系统中不可缺少的一部分，它能以一种比较直观的形式反馈一个半导体制造设备的工艺气路状态。由于半导体制造设备在生产不同的产品时，对应的工艺气路具有一定的差异性，随着越来越多的产品被研发出来，为及时响应半导体制造设备的工艺气路相关的硬件的变更，对气路图的设计提出了快速迭代的要求。

现有的气路图采用程序界面设计方法，通过程序开发工具将需要呈现的工艺气路在程序界面设计出来，然后订阅和实现每个元器件的程序事件，最后编译生成动态链接库或直接嵌入应用程序中。并可在程序中预先设置几种不同的气路图，通过程序中的配置开关，选择其中之一的气路图进行呈现。但由于气路图是通过程序实现的，因此对工艺气路的细小改动都需要软件开发工程师和测试工程师参与，使得气路图修改流程复杂、设计开发周期长。并且，由于不同产品对应的工艺气路具有一定的差异性，因此对于新研发的产品，原有气路图程序的复用性低，难以满足气路图的快速迭代要求。

发明内容

本发明一个或多个实施例提供一种基于IAP平台的气路图实现方法及装置，用以解决现有的气路图实现方式难以对气路图进行及时变更的问题。

一方面，本发明一个或多个实施例提供一种基于IAP平台的气路图实现方法，包括：

接收针对气路图的绘制请求，所述绘制请求中携带所述气路图对应的可编辑文件的文件标识信息；

基于所述文件标识信息，读取所述可编辑文件，获取保存在所述可编辑文件中的所述气路图中各目标控件的属性信息，以及各所述目标控件的属性信息和所述IAP平台中控件数据之间的关联关系；所述目标控件包括元器件控件和管道控件；

根据所述关联关系，从所述IAP平台获取各所述目标控件的属性信息对应的所述控件数据；

根据各所述目标控件的属性信息，在气路图编辑界面上生成所述气路图，并在所述气路图上显示各所述目标控件的属性信息，和/或对应的所述控件数据。

另一方面，本发明一个或多个实施例提供一种基于IAP平台的气路图实现装置，包括：

第一接收模块，用于接收针对气路图的绘制请求，所述绘制请求中携带所述气路图对应的可编辑文件的文件标识信息；

读取及获取模块，用于基于所述文件标识信息，读取所述可编辑文件，获取保存在所述可编辑文件中的所述气路图中各目标控件的属性信息，以及各所述目标控件的属性信息和所述IAP平台中控件数据之间的关联关系；所述目标控件包括元器件控件和管道控件；

获取模块，用于根据所述关联关系，从所述IAP平台获取各所述目标控件的属性信息对应的所述控件数据；

生成及显示模块，用于根据各所述目标控件的属性信息，在气路图编辑界面上生成所述气路图，并在所述气路图上显示各所述目标控件的属性信息，和/或对应的所述控件数据。