[发明专利]一种石墨烯真空封存转移装置有效
申请号: | 202110061018.2 | 申请日: | 2021-01-18 |
公开(公告)号: | CN112794317B | 公开(公告)日: | 2023-01-10 |
发明(设计)人: | 刘春龙 | 申请(专利权)人: | 山东恒华新材料有限公司 |
主分类号: | C01B32/194 | 分类号: | C01B32/194 |
代理公司: | 山东诚杰律师事务所 37265 | 代理人: | 孙廷方 |
地址: | 276000 山东省临沂*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 真空 封存 转移 装置 | ||
本发明涉及石墨烯真空封存转移装置技术领域,具体为一种石墨烯真空封存转移装置,所述密封圆筒上端内部放置有刻蚀液容器,且刻蚀液容器下端一侧设置螺钉连接的增边板,通过对密封圆筒与外密封卡板的设置,可使得容器与密封圆筒之间的间接更加的紧密,这样有利于保障容器内部的刻蚀液不会出现泄漏的风险,进而保证了刻蚀液在密封圆筒内部的合适工作容量;通过对整体结构的设置,可使得目标基底与金属基底的接触不会受到刻蚀液泄漏的影响,同时通过调节螺杆,可加强基底之间的接触,进一步的有利于放置外界空气对石墨烯的造成一定的影响。
技术领域
本发明涉及石墨烯真空封存转移装置技术领域,具体为一种石墨烯真空封存转移装置。
背景技术
石墨烯薄膜因其具有优异的导电、导热、机械强度大、透明、柔性等性能。目前在石墨烯场效应晶体管、传感器、柔性触摸屏、导热膜、过滤膜、散热器件等多个交叉领域有着广泛的应用。目前制备石墨烯薄膜的主要技术是通过高温在金属基底上化学气相沉积生长石墨烯,在应用时将石墨烯转移到目标基底上,转移过程或者方法会直接影响到石墨烯的本征性能,同时现在的石墨烯转移装置可对薄膜容易产生破损或裂纹的石墨烯薄膜进行直接转移,同时实现石墨烯转移不会受限于设备大小的问题。
现有技术下的一种石墨烯封存转移装置,通过施压装置、容器与弹簧夹实现对石墨烯的转移,在此过程中,利用弹簧夹对容器进行密封,形成内部石墨烯转移的密封空间,但此装置仍存在一定的弊端,具体为,此装置利用弹簧夹及密封垫对金属基底与目标基底进行全部密封的做法不可取,因为弹簧夹在容器下方对容器进行密封,而施压装置在容器上端施压,进而容易导致弹簧夹之间出现松懈,进一步的会发生容器内部刻蚀液泄漏的风险,同时使得石墨烯的转移过程被外界空气干扰,进而容易导致石墨烯在转移过程中出现位置偏移。
发明内容
本发明的目的在于提供一种石墨烯真空封存转移装置,以解决弹簧夹密封容器不够紧密以及刻蚀液泄漏导致石墨烯转移发生偏移等问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种石墨烯真空封存转移装置,所述密封圆筒上端内部放置有刻蚀液容器,且刻蚀液容器下端一侧设置螺钉连接的增边板,所述增边板上端开设有外密封槽,且外密封槽内端放置有外密封卡板的一端,所述增边板下端开设有内置槽,且内置槽的内部设置与增边板焊接连接的定位柱,所述定位柱上套有挤压弹簧,且挤压弹簧的一侧设置有密封压板,所述密封压板上贯穿开设贯通槽,且密封压板一端设置胶连接的橡胶垫,所述刻蚀液容器一端两侧对称设置螺钉连接的锁位柱,且锁位柱下端一侧设置焊接连接的卡位板,所述密封圆筒上端两侧对称设置螺钉连接的承接柱,且承接柱内部开设有锁位槽,所述承接柱中端开设有导向滑槽,且导向滑槽的内部设置有卡位环,所述承接柱一端一侧贯穿导向滑槽开设滑位槽,所述密封圆筒内端一侧放置有目标基底,且目标基底下端设置有石墨烯薄膜,所述石墨烯薄膜下端设置有金属基底,所述密封圆筒下端设置螺钉连接的底部密封环,且底部密封环一端两侧对称贯穿设置调节螺杆,所述调节螺杆上端设置转轴连接的调节板,且调节板上端一侧设置胶连接的支撑板,所述调节板之间设置螺钉连接的推进板。
优选的,所述外密封卡板与密封圆筒设置的连接方式为螺钉固定连接,且外密封卡板整体设置的形状为“T”字形,所述外密封卡板下端的宽度与外密封槽的宽度保持相同。
优选的,所述定位柱在内置槽的内部设置的数量不得低于六个,且每个定位柱之间设置的角距不得低于四十五度,所述定位柱的直径与挤压弹簧的内部宽度相同。
优选的,所述橡胶垫的下端表面与目标基底的上端表面相接触,且橡胶垫的最大直径小于目标基底的宽度,所述橡胶垫设置的高度与内置槽内槽深度的三分之二。
优选的,所述锁位槽设置的槽深度小于锁位柱的高度,且锁位槽一侧的滑位槽设置的宽度与卡位板的宽度等同,所述滑位槽的宽度小于卡位环上开口的宽度。
优选的,所述支撑板设置采用的材料为塑料或橡胶,且支撑板的外端设置的表面与金属基底的外端设置的表面等同,所述支撑板的宽度是调节板宽度的二分之一。
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