[发明专利]抛光垫固定机构及抛光机

说明书

本发明涉及一种抛光垫固定机构和一种抛光机。抛光垫固定机构包括自锁组件和承载盘。自锁组件的一侧用于固定于抛光盘；承载盘设置有安装槽，自锁组件可拆卸连接于安装槽，承载盘背离安装槽的一侧用于连接抛光垫。当对材料进行抛光时，将抛光垫连接至承载盘上，并通过自锁组件将承载盘与抛光盘连接，抛光盘带动承载盘转动，实现对材料的抛光，当需要更换不同粗糙度的抛光垫时，不需要将抛光垫与承载盘分离，仅需要将自锁组件与安装槽分离即可，并更换与其他粗糙度的抛光垫相连的承载盘即可，使得抛光垫能够多次利用，有效的避免了抛光垫的浪费情况，也大大节省了材料在抛光工序的加工成本。本发明涉及的抛光机，包括上述的抛光垫固定机构。

技术领域

本发明涉及抛光技术领域，特别是涉及抛光垫固定机构及抛光机。

背景技术

随着抛光技术的发展，出现了抛光机。在传统的抛光机中，一般通过双面胶类材料来将抛光垫固定在抛光盘上，当对材料进行抛光时，一般会最开始选用粗糙度较大的抛光垫开始抛光，然后逐渐降低抛光垫的粗糙度，并最终通过化学机械平整化来实现材料表面的高度平整化。由于抛光垫与抛光盘通过双面胶类材料进行连接，所以当需要更换不同粗糙度的抛光垫，就必须破坏掉上一道工序中使用的抛光垫，这无形中就对抛光垫造成了大量的浪费，也增加了材料抛光的成本。

发明内容

基于此，有必要针对抛光机在抛光材料时，抛光垫造成大量浪费的技术问题，提供一种抛光垫固定机构。

一种抛光垫固定机构，其包括：

自锁组件，所述自锁组件的一侧用于连接于抛光盘；

承载盘，所述承载盘设置有安装槽，所述自锁组件可拆卸连接于所述安装槽的槽壁，所述承载盘背离所述安装槽的一侧用于连接抛光垫。

在其中一个实施例中，所述自锁组件包括支架，所述支架的一侧连接于所述抛光盘,所述支架可拆卸连接于所述安装槽的槽壁。

在其中一个实施例中，所述支架设置有第一斜面，所述第一斜面沿所述抛光盘的周向延伸，所述支架能够卡接入所述安装槽。

在其中一个实施例中，所述自锁组件还包括吸附件，所述吸附件的一端与所述承载盘连接，所述吸附件的另一端与所述支架连接，所述支架能够容纳于所述安装槽。

在其中一个实施例中，所述吸附件包括第一吸附体和第二吸附体；

所述第一吸附体与所述第二吸附体相对且间隔设置，所述第一吸附体安装于所述安装槽远离所述支架的一侧，所述第二吸附体安装于所述支架相对所述第一吸附体的一侧。

在其中一个实施例中，所述第一斜面沿所述承载盘相对所述抛光盘转动装入方向倾斜设置，且自所述转动装入的起始点朝向所述转动装入的终止点，所述支架沿所述承载盘轴向的厚度呈渐减结构设置。

在其中一个实施例中，所述安装槽设置有第二斜面，所述第二斜面与所述第一斜面的倾角方向相同。

在其中一个实施例中，所述支架为第一扇环形结构，所述第一扇环形结构沿所述抛光盘的周向设置；所述安装槽为第二扇环形结构；所述第一扇环形结构与所述第二扇环形结构相适应。

在其中一个实施例中，所述支架的数量为至少一个，至少一个所述支架沿所述抛光盘的周向排布，至少一个所述支架与所述抛光盘固定的一侧处于同一圆周之上，所述安装槽的数量至少大于所述支架的数量。

本发明还提供一种抛光机，能够解决上述至少一个技术问题。

本发明提供一种抛光机，包括上述的抛光垫固定机构。

本发明的有益效果：