[发明专利]一种谐振器的调频方法在审
| 申请号： | 202110006473.2 | 申请日： | 2021-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN112787616A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 孙成亮;谷曦宇;国世上;周杰;徐沁文;高超;曲远航 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 许莲英 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 谐振器 调频 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种谐振器的调频方法，其特征在于：
所述谐振器由下电极、压电层、上电极依次叠加；
所述的压电层上部电极宽度小于或大于下部电极宽度；
所述压电层的材料刻蚀形成的截面形状可图案化为：圆形、正方形、矩形、规则多边形或不规则多边形；
所述压电材料包括铌酸锂、钽酸锂、氮化铝、钪掺杂氮化铝、PZT或ZnO；
所述电极截面要求的形状可为：正方形、矩形、规则多边形或不规则多边形；
所述嵌入型电极的材料为铂、钼、铜、铝、金或钨。
2.根据权利要求1所述的谐振器的调频方法，其特征在于：
所述调频方法包括以下步骤：
固定谐振器下电极的宽度，来调节电极的相对金属率，从而调节电极损耗与压电层的压电参数，通过调节上电极的宽度来调节谐振器的谐振频率；
固定谐振器上电极的宽度，来调节电极的相对金属率，从而调节电极损耗与压电层的压电参数，通过调节下电极的宽度来调节谐振器的谐振频率。
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