[发明专利]操作压电等离子体生成器的方法

权利要求书

1.一种操作压电等离子体生成器的方法，

包括向压电等离子体生成器（14）的压电变压器（1）施加输入信号（S_in）的步骤，

其中输入信号（S_in）的峰值振幅的绝对值（|A_peak|）周期性地减小和增加到小于和大于等离子体生成器（14）的点火电压（V_ig）的水平，使得等离子体生成周期性地坍塌。

2.根据权利要求1所述的方法，

其中，在等离子体生成器（14）的操作期间调整占空比（DC），所述占空比（DC）是其中在峰值振幅的绝对值（|A_peak|）的一个振荡周期期间峰值振幅的绝对值（|A_peak|）大于点火电压（V_ig）的接通时间（T_on）的比例。

3.根据权利要求2所述的方法，

其中，在等离子体生成器（14）的操作期间测量与衬底（S）中的能量输入相关的参数，其中取决于测量的能量输入调整占空比（DC）。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，

其中，输入信号（S_in）的峰值振幅的绝对值（|A_peak|）在高水平和低水平之间切换，其中峰值振幅的绝对值（|A_peak|）的低水平为零。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，

其中，输入信号（S_in）的峰值振幅的绝对值（|A_peak|）在高水平和低水平之间切换，其中峰值振幅的绝对值（|A_peak|）的低水平在零以上。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，

其中，峰值振幅的绝对值（|A_peak|）根据连续的包络曲线振荡。

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，

其中，在关断时间（T_off）——其中峰值振幅的绝对值（|A_peak|）小于点火电压（V_ig）——期间，峰值振幅的绝对值（|A_peak|）至少在关断时间的大部分时间内在零以上。

8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，

其中，输入信号（S_in）基于具有第一频率（f_base）的基础信号（S_base），其中基础信号（S_base）由具有第二频率（f_mod）的调制信号（S_mod）调制，第二频率（f_mod）低于第一频率（f_base）。

9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，

其中，第二频率（f_mod）至多是第一频率（f_base）的1/20。

10.根据前述权利要求中任一项所述的方法，

其中，在关断时间（T_off）——其中峰值振幅的绝对值（|A_peak|）小于点火电压（V_ig）——之后，将第一频率（f_base）调整到等离子体生成器（14）的谐振频率。

11.一种压电等离子体生成器，包括

压电变压器，以及

控制电路（15），所述控制电路（15）用于根据前述权利要求中任一项的方法操作等离子体生成器。