[发明专利]干式真空泵及制造方法

权利要求书

1.一种干式真空泵(1)，具有定子(2)和容纳在所述定子(2)的至少一个压缩室(3)中的两个转子(5)，所述转子(5)构造成沿相反方向同步旋转，以便驱动要在所述真空泵(1)的进气口(4)和排气口之间泵送的气体，其特征在于，所述转子(5)和所述定子(2)的压缩室(3)涂覆有含磷9％-14％且厚度(e)大于20μm的镍-磷涂层(11)，该镍-磷涂层(11)已经经过硬化热处理，该硬化热处理包括在1小时以上的处理持续时间(D)上的加热到250℃以上的处理温度(T)的步骤(102)，以便具有大于700H_V的硬度。

2.根据前一项权利要求所述的真空泵(1)，其特征在于，所述处理持续时间(D)在8小时以上。

3.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述处理持续时间(D)在15小时以下。

4.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述硬度在800H_V与1000H_V之间。

5.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述处理温度(T)低于350℃。

6.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述镍-磷涂层(11)含磷10％至13％。

7.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述镍-磷涂层(11)的厚度(e)小于或等于60μm，例如25μm+/-5μm。

8.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述真空泵(1)具有至少两个泵级(1a-1e)，每个泵级限定一压缩室(3)，连续的泵级(1a-1e)的压缩室(3)通过设置在所述定子(2)的主体(9)中的至少一个级间通道(8)串联连接，所述级间通道(8)也设置有镍-磷涂层(11)。

9.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述镍-磷涂层(11)覆盖所述真空泵(1)的所有可能与要泵送的气体接触的壁。

10.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述定子(2)的主体(9)和所述转子(5)的主体(10)由铸铁或钢制成。

11.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述真空泵(1)构造成以40Hz以上的频率旋转。

12.一种用于制造干式真空泵(1)的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

-在定子(2)的内壁上和转子(5)的壁上沉积镍-磷涂层(11)，该镍-磷涂层(11)含9％-14％的磷并具有大于20μm的厚度(e)，以及

-通过在1小时以上的处理持续时间(D)上的加热到250℃以上的处理温度(T)的步骤(102)，对所述定子(2)和所述转子(5)的镍-磷涂层(11)进行热处理，以便具有大于700H_V的硬度，例如在800H_V与1000H_V之间的硬度。

13.根据前一项权利要求所述的用于制造真空泵(1)的方法，其特征在于，所述处理持续时间(D)在8小时以上和/或15小时以下。

14.根据权利要求12和13中任一项所述的用于制造真空泵(1)的方法，其特征在于，所述硬化热处理包括至少一个升温步骤(101)，在该升温步骤期间，温度设定点以1℃/min到3℃/min之间的升温速率从环境温度升高到所述处理温度(T)。

15.根据权利要求12至14中任一项所述的用于制造真空泵(1)的方法，其特征在于，利用将所述定子(2)的主体(9)和所述转子(5)的主体(10)浸入的技术来沉积所述镍-磷涂层(11)。