[发明专利]超纯水制造系统及超纯水制造方法

说明书

本发明进一步减少供给到使用点的超纯水所含的微粒子。超纯水制造系统(1)具有：超纯水供给管线(L1)，与使用点(UP1～UP3)连接，且供超纯水流通；以及第一离子交换装置(6)、膜过滤装置(8)和第二离子交换装置(9)，在超纯水供给管线(L1)上串联配置。由膜过滤装置(8)过滤后的超纯水的至少一部分在被供给到使用点(UP1～UP3)之前由第二离子交换装置(9)进行处理。

技术领域

本申请基于2019年5月30日申请的日本申请即日本特愿2019-101076，并且主张基于该申请的优先权。该申请通过引用将其整体并入本申请。

本发明涉及超纯水制造系统及超纯水制造方法。

背景技术

超纯水制造系统具有从一次纯水制造超纯水的子系统。在该子系统中，串联配置有UV氧化装置、离子交换装置等各种装置，通过用这些装置依次处理一次纯水来制造超纯水。在被供给超纯水的使用点的近前，以除去微粒子为目的而设置超滤膜过滤装置等膜过滤装置。近年来，对超纯水的水质的要求愈发严格，要求将超纯水中的微粒子管理在10nm级。因此，对膜过滤装置的要求也越来越严格。在日本特开2018-144014号公报中，公开了用专用的清洗装置清洗超滤膜过滤装置。在日本特开2016-64342号公报中，公开了将超滤膜过滤装置串联地配置两级。

发明内容

膜过滤装置能够高效地除去微粒子，但难以完全防止微粒子从膜的剥离或排出。即，虽然膜过滤装置的上游侧的微粒子被膜过滤装置捕捉，但由于捕捉到的微粒子的剥离、膜自身的部分剥离，有时微粒子会流出到膜过滤装置的下游侧。本申请发明人发现，即使抑制了粒径10～20nm左右的较小的微粒子的流出，也难以抑制粒径100nm以上的较大的微粒子的流出。具体而言，测定膜过滤装置的出口侧的微粒子的粒径分布，结果几乎没有检测到粒径10～20nm左右的微粒子，但检测出较多的粒径20nm以上的微粒子、特别是粒径100nm以上的微粒子。可以认为这是由于膜过滤装置本身成为微粒子的产生源。因此，专利文献1所记载的方法具有一定的效果，但不容易充分减少微粒子数。专利文献2所记载的方法由于能够用下游侧的膜过滤装置捕捉从上游侧的膜过滤装置流出的微粒子，因此具有一定的效果。但是，由于不能在使用点的近前捕捉由下游侧的膜过滤装置产生的微粒子，因此在原理上其效果有限。

本发明的目的在于提供一种超纯水制造系统，能够进一步减少供给到使用点的超纯水所含的微粒子。

本发明的超纯水制造系统具有：超纯水供给管线，与使用点连接，且供超纯水流通；以及第一离子交换装置、膜过滤装置和第二离子交换装置，在超纯水供给管线上串联配置。由膜过滤装置过滤后的超纯水的至少一部分在供给到使用点之前由第二离子交换装置进行处理。

根据本发明，由膜过滤装置过滤后的超纯水的至少一部分在供给到使用点之前由第二离子交换装置进行处理，因此能够进一步减少供给到使用点的超纯水所含的微粒子。

通过以下参照例示了本申请的附图的详细说明，上述以及其他的本申请的目的、特征和优点将变得明确。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式所涉及的超纯水制造系统的概略结构图。

图2是本发明的第二实施方式所涉及的超纯水制造系统的概略结构图。

图3是实施例中所使用的试验装置的结构图。

图4是表示实施例中的微粒子数的测定结果的曲线图。

图5是表示实施例中的微粒子数的测定结果的曲线图。

图6是表示实施例中的微粒子数的测定结果的曲线图。

具体实施方式

(第一实施方式)