[发明专利]硫化羰的制造方法

说明书

本发明的目的在于提供一种能够以气相流通方式、不使用催化剂就制造硫化羰的制造方法。本发明的硫化羰的制造方法包括：使包含起始物质的原料气体在连续流通的状态进行放电、接着连续地排出至放电区域外，上述起始物质是由选自CO₂、CO、O₂及O₃中的至少一种和CS₂构成的。

技术领域

本发明涉及一种硫化羰的制造方法。

背景技术

在半导体制造工序中的碳硬掩膜等的刻蚀中，已知能够使用硫化羰(COS)。

而且，作为在气相中制造硫化羰的方法，已知有：在催化剂存在下使二氧化碳气体与二硫化碳反应的方法(专利文献1和2)；在催化剂存在下使硫与一氧化碳反应的方法(专利文献3)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特公昭47-40632号公报；

专利文献2：美国专利第3409399号说明书；

专利文献3：日本特开昭52-131993号公报。

发明内容

发明要解决的问题

然而，上述的硫化羰的制造方法均使用了催化剂，收率会随着催化剂的活性降低而下降等，难以连续制造。

因此，本发明的目的在于提供一种以气相流通方式、不使用催化剂就能够制造硫化羰的制造方法。

用于解决问题的方案

本发明人为了达到上述目的而进行了深入研究，发现使规定的原料气体在连续流通的状态进行放电、接着连续地排出至放电区域外，由此可得到硫化羰，从而完成了本发明。

本发明的目的在于有利地解决上述问题，本发明涉及一种硫化羰的制造方法，上述制造方法包括：使包含起始物质的原料气体在连续流通的状态进行放电、接着连续地排出至放电区域外，上述起始物质由选自CO₂、CO、O₂及O₃中的至少一种和CS₂构成。

在本发明的硫化羰的制造方法中，通过使原料气体在连续流通的状态进行放电，使原料气体中包含的由选自CO₂、CO、O₂及O₃中的至少一种和CS₂构成的起始物质转化为作为COS的前体的活性种，接着将其连续地排出至放电区域外，由此上述活性种进行重新结合，生成硫化羰。像这样根据本发明能够以气相流通方式、不使用催化剂就制造硫化羰(COS)。

起始物质由选自CO₂、CO、O₂及O₃中的至少一种和CS₂构成。通过使用这些组合，能够适宜地生成作为COS的前体的CS活性种、CO活性种、由氧单质形成的活性种。

在本发明中，不使用催化剂就能够制造COS，因此优选。

在本发明中，能够供应0.3kW以上的电力使原料气体进行放电，此外能够使原料气体在具有1cm以上的电极间距的电极间进行放电。从能够稳定地转化为作为COS的前体的活性种方面出发，优选这些放电方式。

在本发明中，CS₂的体积与选自CO₂、CO、O₂及O₃中的至少一种的合计体积的比优选为0.02以上。通过上述体积比在该范围内，能够充分地得到COS。

在本发明中，CS₂的体积与原料气体的体积的比优选为0.02以上且0.3以下。通过上述体积比在该范围内，能够充分地得到COS。