[发明专利]振动发电元件

权利要求书

1.一种振动发电元件，其特征在于，具备：

固定电极部及可动电极部，其形成于隔着绝缘层而设有第一层和第二层的基板的上述第二层；

框体，其由隔着上述绝缘层而设置的上述第一层和上述第二层形成，且在上述第二层支撑上述固定电极部；

弹性支撑部，其形成于上述第一层，且利用与上述框体的上述第一层连结的梁部来弹性地支撑上述可动电极部；以及

第一导通部，其将上述可动电极部与上述弹性支撑部电连接。

2.根据权利要求1所述的振动发电元件，其特征在于，

上述第一导通部具备第一板状部件，该第一板状部件形成于与上述可动电极部连续的第二层，且以不隔着绝缘层的方式与上述弹性支撑部对置，

上述第一板状部件具有：

悬臂梁形状的第一变形部，其以不隔着上述绝缘层的方式与上述弹性支撑部对置；以及

第一附着部，其与上述悬臂梁形状的第一变形部的前端连接，并以从上述前端向上述第一变形部的根基方向折回的方式延伸，且附着于上述弹性支撑部，

上述第一变形部以及上述第一附着部形成有多个在上述第一板状部件的厚度方向上贯通的孔。

3.根据权利要求1或2所述的振动发电元件，其特征在于，

具备第二导通部，该第二导通部将上述框体的上述第一层与上述第二层电连接。

4.根据权利要求3所述的振动发电元件，其特征在于，

上述第二导通部具备第二板状部件，该第二板状部件形成于上述框体的上述第二层，且以不隔着绝缘层的方式与上述框体的上述第一层对置，

上述第二板状部件具有：

悬臂梁形状的第二变形部，其以不隔着上述绝缘层的方式与上述框体的上述第一层对置；以及

第二附着部，其与上述悬臂梁形状的第二变形部的前端连接，并以从上述前端向上述第二变形部的根基方向折回的方式延伸，且附着于上述框体的上述第一层，

上述第二变形部以及上述第二附着部形成有多个在上述第二板状部件的厚度方向上贯通的孔。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的振动发电元件，其特征在于，

上述固定电极部具有多个固定梳齿，

上述可动电极部具有多个可动梳齿，该多个可动梳齿配置为隔着间隙与上述多个固定梳齿啮合，

上述弹性支撑部以能够在上述可动梳齿相对于上述固定梳齿的插入量发生变化的方向上位移的方式弹性支撑上述可动电极部。

6.一种振动发电元件，其特征在于，具备：

固定梳齿电极，其形成于隔着绝缘层层叠有第一层和第二层的基板的上述第一层；

可动梳齿电极，其形成于上述第一层，且能够相对于上述固定梳齿电极移动；

弹性支撑部，其形成于上述第二层，且弹性支撑上述可动梳齿电极；以及

连接部，其形成于上述第一层，且将上述可动梳齿电极与上述弹性支撑部机械且电气地连接。