[发明专利]弹性波装置

说明书

本发明提供一种能够谋求对泄漏模式的传播的抑制的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，在基板(2)的第1主面(2a)侧设置有用于构成声反射器的空腔，在空腔上层叠第1电极(3)、压电薄膜(4)以及第2电极(5)而构成激励部(Y)，在第1引出电极(6)以及第2引出电极(7)中的至少一者中，在激励部(Y)的边(12a)的法线方向(B1)上设置有周期性的图案(11)。

技术领域

本发明涉及具有在声反射器上设置有激励部的构造的弹性波装置。

背景技术

以往，已知具有声反射器的弹性波装置。例如，在下述的专利文献1记载的弹性波装置中，在支承基板的上表面设置有凹部。在支承基板上设置有包含下部电极、压电薄膜以及上部电极的层叠体。在上述凹部的上方，下部电极和上部电极隔着压电薄膜而相互重叠。在此，由凹部形成的空腔构成了声反射器。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第4877966号公报

发明内容

发明要解决的课题

在像专利文献1记载的那样的弹性波装置中，在空腔的上方，下部电极和上部电极对置的部分成为激励部。下部电极以及上部电极与引出电极相连，引出电极用于与外部电连接。可是，由于制造误差等，有时下部电极、上部电极超过空腔的上方的区域而延伸到空腔的外侧。在这样的情况下，在空腔的外侧的区域，下部电极和上部电极隔着压电薄膜而对置。因此，在该对置部中，也会对压电薄膜施加电压而产生振动。与此相伴地，在该对置部分产生的振动有时泄漏到与下部电极或上部电极相连的引出电极。

若这样的泄漏模式传播到引出电极，则在弹性波装置中，有可能成为杂散分量。

本发明的目的在于，提供一种能够抑制泄漏模式的传播的弹性波装置。

用于解决课题的技术方案

本发明涉及的弹性波装置的特征在于，具备：基板，具有第1主面；第1电极，设置在所述基板的所述第1主面；压电薄膜，设置在所述基板的所述第1主面上，覆盖所述第1电极的至少一部分；第2电极，设置在所述压电薄膜上，具有隔着所述压电薄膜与所述第1电极对置的部分；以及声反射器，设置在所述基板，使得所述第1电极层叠在上表面，所述第1电极和所述第2电极在所述声反射器上隔着所述压电薄膜对置的部分被设为激励部，所述弹性波装置还具备：第1引出电极，与所述第1电极相连，从所述激励部引出到激励部外；以及第2引出电极，与所述第2电极相连，从所述激励部引出到激励部外，在所述第1引出电极以及所述第2引出电极中的至少一者中，沿着远离所述激励部的方向设置有周期性的图案。

发明效果

根据本发明涉及的弹性波装置，能够抑制泄漏模式向第1引出电极以及第2引出电极中的至少一者的传播。

附图说明

图1是本发明的第1实施方式涉及的弹性波装置的示意性俯视图。

图2是用于说明本发明的第1实施方式涉及的弹性波装置的主要部分的主视剖视图。

图3是本发明的第2实施方式涉及的弹性波装置中的第2引出电极附近的示意性俯视图。

图4是本发明的第3实施方式涉及的弹性波装置的示意性俯视图。

图5是本发明的第4实施方式涉及的弹性波装置的示意性俯视图。

图6是沿着图5中的B-B线的剖视图。

图7是用于说明本发明的第4实施方式的变形例涉及的弹性波装置中的周期性的图案的剖视图。

图8是本发明的第5实施方式涉及的弹性波装置的示意性俯视图。