[发明专利]废气分拣分离处理装置及其控制方法

权利要求书

1.一种废气分拣分离处理装置(1)，其特征在于：

所述废气分拣分离处理装置(1)由废气分离部(100)、加热箱部(200)、刮板单元部(300)及湿式清洗处理部(400)组成，

所述废气分离部(100)上形成有使先行工艺(10)的废气流入的流入口(110)、根据流入所述流入口(110)的所述废气的腐蚀性及非腐蚀性与否来转换移动方向的方向转换阀(120)、基于所述方向转换阀(120)使所述废气移动的第一移动管(130)及第二流动管(140)，

所述加热箱部(200)由用于热分解经过所述第一移动管(130)和第二流动管(140)的废气的多个发热模块(210)及用于容纳所述第一移动管(130)和第二流动管(140)的腔室(220)组成，

所述刮板单元部(300)设置于所述加热箱部(200)并用于去除所述腔室(220)的内侧面上固着的粉体，

所述湿式清洗处理部(400)与所述加热箱部(200)连通且内侧形成有多个喷嘴(410)，所述多个喷嘴(410)用于喷射清洗液以对经过所述加热箱部(200)的所述废气进行湿式清洗处理；

其中刮板单元部(300)包括：

环状的底座轨(310)，

电机部(320)形成于所述底座轨(310)的一侧，

第一齿轮部(330)与所述电机部(320)的轴连接，

所述环状第二齿轮部(340)可旋转地安装在所述底座轨(310)的内侧并与所述第一齿轮部(330)咬合，

第一粉体清除杆(350)位于所述第二齿轮部(340)的内侧面且与所述腔室(220)的内侧面接触；

所述第二齿轮部(340)的内侧面形成有第二粉体清除杆(360)，所述第二粉体清除杆(360)与所述发热模块(210)的外侧面的一部分接触用以清除所述发热模块(210)的外侧面上固着的粉体；

所述第二流动管(140)与各发热模块(210)之间形成有热移动管(230)，所述热移动管(230)使由先行工艺(10)注入的工艺气体经所述发热模块(210)加热并移动到所述第二流动管(140)的内部。

2.如权利要求1所述的废气分拣分离处理装置(1)，其特征在于：

所述湿式清洗处理部(400)的下侧形成有第一废弃物存放箱(500)，所述第一废弃物存放箱(500)与所述湿式清洗处理部(400)连接用以捕集粉体和清洗液。

3.如权利要求2所述的废气分拣分离处理装置(1)，其特征在于：

所述第一废弃物存放箱(500)的下侧形成有第二废弃物存放箱(600)，所述第二废弃物存放箱(600)与所述第一废弃物存放箱(500)连接，从而捕集从所述第一废弃物存放箱(500)移送的粉体，而将清洗液重新移送到第一废弃物存放箱(500)。

4.如权利要求1所述的废气分拣分离处理装置(1)，其特征在于：

所述先行工艺(10)由沉积设备(11)、MFC(12)及真空泵(13)组成，

所述MFC(12)包括清洗气体注入管(14a、14b、14c)，其将分别供给的不同的清洗气体注入到所述沉积设备(11)；电磁阀(15a、15b、15c)，其用于打开或关闭各清洗气体注入管(14a、14b、14c)；以及压力传感器(18a、18b、18c)，其分别与各所述电磁阀(15a、15b、15c)连接，

所述先行工艺(10)上形成有控制阀(16)，所述控制阀(16)接收所述沉积设备(11)的控制信号并参预是否注入清洗气体，且各所述电磁阀(15a、15b、15c)上分别连接有连接管(17a、17b、17c)。

5.一种废气分拣分离处理装置的控制方法，其用于感应并确认权利要求4所述的废气分拣分离处理装置(1)的所述沉积设备(11)中选择性注入的清洗气体，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

所述控制阀(16)通过所述沉积设备(11)的控制信号感知选定的清洗气体信息；

通过工艺气体打开所述控制阀(16)；

利用工艺气体的压力并通过与所选清洗气体连接的连接管(17a)打开所述电磁阀(15a)；

通过与所述电磁阀(15a)连接的清洗气体注入管(14a)将清洗气体供给到所述沉积设备(11)；以及

感应供给到所述沉积设备(11)的清洗气体信息并提供给作业人员。