[实用新型]一种PL检测系统及线扫PL检测设备有效
申请号: | 202023343313.7 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN214380818U | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 康剑锋;殷文杰;蒋鹏祥;陈刚 | 申请(专利权)人: | 浙江爱旭太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H02S50/15 | 分类号: | H02S50/15;G01N21/892 |
代理公司: | 金华智芽专利代理事务所(普通合伙) 33307 | 代理人: | 陈迪 |
地址: | 322000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 pl 检测 系统 设备 | ||
本实用新型涉及一种PL检测系统。它包括:激光组件,激光组件包括:激光光源,用于照射晶硅电池片;激光控制器,与激光光源电连接,并用于控制激光光源的启闭,同时激光控制器还可控制激光光源的激光功率和闪断频率;图像处理组件,包括工业相机和图像处理器,工业相机具有可以相互切换的高爆光模式和低曝光模式,工业相机用于在激光光源开启时采用低曝光模式采集一张低曝图片,并在激光关闭时采用高爆光模式采集一张高曝图片,图像处理器,用于将接收的工业相机的低曝图片和高曝图片,叠加并复合成一张图片。高曝照片可以显示电池片上的光致发光现象,通过发光效果判断电池片的缺陷,而低曝照片可以显示电池片的断栅情况。
技术领域
本实用新型涉及一种晶硅电池片PL检测装置,尤其是涉及一种PL检测系统及线扫PL检测设备。
背景技术
太阳能电池行业中,需要对晶硅电池片进行印刷缺陷检测。目前的检测方法主要分为PL(Photoluminescence ;光致发光)和EL(xx;电致发光),PL是检测原材料的有效方法,以大于半导体硅片禁带宽度的光作为激发手段,激发硅中的载流子,当撤去光源后,处于激发态的电子属于亚稳态,在短时间内会回到基态,这一过程中会释放波长为1100nm的光子,光子被灵敏的CCD相机捕获,得到硅片的辐射复合图像。 然而现有的PL检测装置,对成品电池片的检测印刷不良上面精度仍然不足,对检测的成品电池片的缺陷有所缺漏,尤其不容易检测到断栅缺陷。
发明内容
本实用新型提供了一种检测精度更高的PL检测系统;解决现有技术中存在对成品电池片检测精度不足的问题。
本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的:一种PL检测系统,用于检测晶硅电池片,其特征在于:包括:
激光组件,所述激光组件包括:
激光光源,用于照射所述晶硅电池片;
激光控制器,与所述激光光源电连接,并用于控制所述激光光源的启闭,同时激光控制器还可控制激光光源的激光功率和闪断频率;
图像处理组件,包括工业相机和图像处理器,
所述工业相机具有可以相互切换的高爆光模式和低曝光模式,所述工业相机用于在所述激光光源开启时采用低曝光模式采集一张低曝图片,并在激光关闭时采用高爆光模式采集一张高曝图片,
所述图像处理器,用于将接收的所述工业相机的所述低曝图片和所述高曝图片,叠加并复合成一张图片。
本实用新型中的工业相机具备高爆光模式和低曝光模式两种拍摄模式,比如激光开启的时候,拍摄环境亮度高,为了避免曝光过度,需要采用低曝光模式拍摄;而激光关闭后,拍摄环境亮度低,而电池片的光致发光现象本身的发光也很微弱,为了拍摄清楚该发光现象,需要采用高曝光模式拍摄。对应的,低曝光模式所得的低曝图片,由于拍摄亮度高,显示电池片上更多的细节,如断栅缺陷;高曝光模式所得的高曝图片,可清楚显现电池片的光致发光显现,通过发光情况判断电池片的缺陷。本实用新型最后输出的是将高曝图片和低曝图片合成后的合成图,可以同时显示多种缺陷。
进一步的,所述的工业相机为线扫相机,所述激光光源的开启和关闭的频率为500HZ至8000Hz。线扫相机的拍摄原理为:一次扫描拍摄的成像为线状,需要多次扫描拍摄,将线状图组成平面图。这就需要激光光源连续闪烁,每次激光开启时,线扫相机均采用低曝模式拍摄,每次激光关闭时,线扫相机均采用高曝模式拍摄。
电池片完成一次扫描拍照后,线扫相机可将每次高曝模式所得的所有线扫照片合成为一张完整的高曝图像,将每次低曝模式所得的所有线扫照片合成为一张完整的低曝图像。线扫相机相比普通工业相机具有更好的成像效果,同时善于拍摄运动中的物体,更加适合流水线拍摄作业。
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