[实用新型]一种扫描致动器及光纤扫描器

权利要求书

1.一种扫描致动器，其特征在于，包括依次连接的第一致动部和第二致动部，所述的第二致动部包括压电陶瓷基板，以压电陶瓷基板的前后两端分别为固定端和自由端，以压电陶瓷基板的厚度方向为垂直方向，所述的压电陶瓷基板的左侧和右侧中至少有一侧设置有驱动电极对，所述的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板上表面的上电极层和设置于压电陶瓷基板下表面的下电极层，压电陶瓷基板位于驱动电极对之间的部分沿垂直方向极化；第一致动部的两端分别为固定端和自由端，第一致动部的自由端相对于其固定端至少沿垂直方向振动，所述的压电陶瓷基板的固定端与第一致动部的自由端固定连接。

2.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的第二致动部为快轴致动器，第一致动部为慢轴致动器，快轴致动器的振动频率远大于慢轴致动器的振动频率。

3.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的压电陶瓷基板的左侧设置有驱动电极对，所述的压电陶瓷基板的右侧未设置驱动电极对，所述的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板上表面左侧的上电极层和设置于压电陶瓷基板上表面左侧的下电极层，上电极层和下电极层相对设置，通过上电极层和下电极层施加驱动电压后，压电陶瓷基板的左侧在驱动电压的驱动下沿水平方向伸长或缩短。

4.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的压电陶瓷基板的右侧设置有驱动电极对，所述的压电陶瓷基板的左侧未设置驱动电极对，所述的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板上表面右侧的上电极层和设置于压电陶瓷基板上表面右侧的下电极层，上电极层和下电极层相对设置，通过上电极层和下电极层施加驱动电压后，压电陶瓷基板的右侧在驱动电压的驱动下沿水平方向伸长或缩短。

5.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的压电陶瓷基板的左侧和右侧均设置有驱动电极对，左侧的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板上表面左侧的第一上电极层和设置于压电陶瓷基板下表面左侧的第一下电极层，第一上电极层和第一下电极层相对设置，通过第一上电极层和第一下电极层施加驱动电压后，压电陶瓷基板的左侧在驱动电压的驱动下沿水平方向伸长或缩短；

右侧的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板上表面右侧的第二上电极层和设置于压电陶瓷基板下表面右侧的第二下电极层，上电极层和下电极层相对设置，通过上电极层和下电极层施加驱动电压后，压电陶瓷基板的右侧在驱动电压的驱动下沿水平方向伸长或缩短；

在同一时刻，压电陶瓷基板的右侧和左侧的伸缩方向相反。

6.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的第一致动部为单压电片致动器或双压电晶片致动器，

所述的单压电片致动器包括沿前后方向延伸的基板，基板的一侧设置有平行于基板的第三压电材料片，第三压电材料片具有两个平行于基板的第二表面，第三压电材料片的第二表面均布设有一层电极；

所述的双压电晶片致动器包括沿前后方向延伸的中部隔离片，中部隔离片的一侧设置有平行于中部隔离片的第一压电材料片，中部隔离片的另一侧设置有平行于中部隔离片的第二压电材料片，第一压电材料片和第二压电材料片均具有两个平行于中部隔离片的第一表面，第一压电材料片和第二压电材料片的第一表面均布设有一层电极，

或所述的双压电晶片致动器包括紧密贴合的第一压电材料片和第二压电材料片，第一压电材料片与第二压电材料片之间设置有一层共用电极，第一压电材料片和第二压电材料片的表面均设置有与所述共用电极相配合的一层电极。

7.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的第一致动部为压电材料管致动器，所述的压电材料管致动器包括压电材料管，压电材料管的外表面设置有至少一对关于压电材料管的轴心线对称的外电极，压电材料管的内表面设置有与所述外电极相配合的内电极。

8.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的第一致动部为压电材料管致动器或压电片驱动致动器，所述的压电片驱动致动器包括轴心方向为前后方向的基体，基体的表面沿周向间隔贴覆有至少一个沿前后方向伸缩的第一压电片。