[实用新型]一种夹具

说明书

本实用新型属于工装夹具领域，公开了提供一种夹具，包括：夹具一面设有工艺窗口，工艺窗口设有第一承载位以及第二承载位，第一承载位用于置放掩膜层，第二承载位用于置放待镀元件，以使掩膜层和待镀元件层叠置放且固定，便于后续对待镀元件进行镀膜工艺加工，以使元件制备工艺稳定进行，保障元件制备的成品率。

技术领域

本实用新型涉及工装夹具领域，尤其是一种夹具。

背景技术

量子计算是一个很重要且已经被国内广泛关注的领域，实现量子计算的体系有半导体量子点、离子阱、基于超导约瑟夫森结的超导量子比特体系、核磁体系等等。量子芯片是实现量子计算的核心器件，量子芯片上设有多种元件，在量子芯片制备中需经过多项工艺处理，包括镀膜、显影等。

其中镀膜工艺，需设计与待镀元件版图匹配的掩膜层，在镀膜前需要将掩膜层与待镀元件层叠置放，以便镀膜工艺的进行。目前，需设计一种夹具以实现掩膜层与待镀元件层叠固定。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种夹具，解决了现有技术中需设计一种夹具以实现掩膜层与待镀元件层叠固定，实现了掩膜层与待镀元件的层叠固定。

为解决上述问题，本实用新型提供一种夹具，包括：

所述夹具一面设有工艺窗口，

所述工艺窗口设有第一承载位以及第二承载位，所述第一承载位用于置放掩膜层，所述第二承载位用于置放待镀元件，所述第一承载位与所述第二承载位层叠设置以使所述掩膜层和所述待镀元件层叠置放。

可选的，所述夹具另一面设有置放窗口，所述置放窗口与所述工艺窗口相对设置，且所述置放窗口与所述工艺窗口内均设有限位台。

可选的，所述夹具还包括伸缩机构，所述伸缩机构可往复运动以实现所述掩膜层与所述待镀元件的固定或释放，所述伸缩机构沿所述工艺窗口周边分布。

可选的，所述伸缩机构包括限位块以及弹性机构，所述弹性机构与所述限位块固定连接，所述限位块可在所述弹性机构带动下，所述限位块移动至所述工艺窗口以及所述置放窗口处，以实现所述掩膜层以及所述待镀元件的固定。

可选的，所述工艺窗口以及所述置放窗口边沿均开设有安装孔，所述限位块可沿所述安装孔往复运动，以实现所述掩膜层以及所述待镀元件的固定或释放。

可选的，所述夹具还包括一端设置在所述工艺窗口的多个夹持部，

所述夹持部的另一端可移动至所述第一承载位以将所述掩膜层固定在所述第一承载位，以及所述夹持部的另一端可移动至所述第二承载位以将所述待镀元件固定在所述第二承载位。

可选的，所述第一承载位与所述第二承载位间设有隔离物。

与现有技术相比，本实用新型提供一种夹具，所述夹具一面设有工艺窗口，所述工艺窗口设有第一承载位以及第二承载位，所述第一承载位用于置放掩膜层，所述第二承载位用于置放待镀元件，以使所述掩膜层和所述待镀元件层叠置放，所述掩膜层与所述待镀元件层叠置放且固定，便于后续对所述待镀元件进行镀膜工艺加工，以使元件制备工艺稳定进行，保障元件制备的成品率。

附图说明

图1是本实用新型夹具的结构示意图；

图2是本实用新型中夹具一面的结构示意图；

图3是本实用新型中夹具另一面的结构示意图；

其中：100、夹具；200、掩膜层；300、待镀元件；

1、工艺窗口；2、置放窗口；3、伸缩机构；

11、第一承载位；12、第二承载位；13、限位台；14、安装孔；31、限位块；32、弹性机构。

具体实施方式