[实用新型]一种含卤素气体的处理装置

说明书

本实用新型提供一种含卤素气体的处理装置，涉及废气处理技术领域，该装置包括：金属腔体、进气口、均流板、MW‑LEP处理器、湿法静电除尘器、水箱和出气口；其中，均流板包括多层；均流板、MW‑LEP处理器和湿法静电除尘器均匀设置在金属腔体内；水箱设置在金属腔体底部；含卤素气体从进气口进入金属腔体，经均流板基于MW‑LEP处理器和湿法静电除尘器的处理，从出气口排出。本实用新型基于微波无极紫外处理对含卤素的气体进行高温断键，并基于湿法静电除尘器对处理后的气体进行进一步处理，实现了对含卤素气体的废气的高效处理，该装置结构简单，适用范围广，且降低了后续维护费用，综合效益高。

技术领域

本实用新型涉及废气处理技术领域，具体而言，涉及一种含卤素气体的处理装置。

背景技术

卤素在半导体技术领域应用于蚀刻气体或净化气体。但是，卤素中的氯气和氟气是卤族元素中的两种比较活泼的气体，氯气有毒，能够刺激人的呼吸系统和粘膜等位置，氟气是自然界中最活泼的一种气体，能够和许多物质发生化学反应，进入人体后，非常容易患氟骨病，氟中毒是一种在我国分布较为广泛的地方病。

现有技术中，对于含有卤素的废气的处理方法主要包括干式净化法和湿式净化法，上述方法在处理存在卤素类气体时均存在处理效率低，适用场景受限，而且后期维护成本较高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，针对上述现有技术中处理飞灰技术存在的不足，提供一种含卤素气体的处理装置，以解决现有技术中飞灰的处理均存在处理不彻底，没有把飞灰中重金属提取出来作为资源导致资源浪费以及综合效益低的问题。

为实现上述目的，本实用新型实施例采用的技术方案如下：

本实用新型实施例提供了一种含卤素气体的处理装置，所述装置包括：金属腔体、进气口、均流板、MW-LEP处理器、湿法静电除尘器、水箱和出气口；

其中，所述均流板包括多层；所述均流板、所述MW-LEP 处理器和所述湿法静电除尘器均匀设置在所述金属腔体内；所述水箱设置在所述金属腔体底部；所述含卤素气体从所述进气口进入所述金属腔体，经所述均流板基于所述MW-LEP处理器和所述湿法静电除尘器的处理，从所述出气口排出。

可选的，所述金属腔体内壁设置防腐涂层。

可选的，所述装置包括多个所述MW-LEP处理器和所述湿法静电除尘器的组合体。

可选的，所述装置还包括传感器和控制器，所述传感器用于检测所述进气口处的风量参数；所述传感器与所述控制器连接。

可选的，所述控制器用于根据所述风量参数，控制器所述处理装置的工作时间。

可选的，所述MW-LEP处理器中包括微波源、波导、功分器、喇叭和无极紫外灯。

可选的，所述无极紫外灯包括185nm无极紫外灯和254nm的无极紫外灯。

可选的，所述湿法静电除尘器中的阴极为多孔针板，所述湿法静电除尘器中的阳极为多孔不锈钢板。

可选的，所述水箱中包含碳酸钙、强氧化钠和氢氧化钙溶液。

可选的，所述水箱中还包括水泵，所述水泵用于将所述水箱中的溶液喷洒在所述湿法静电除尘器的腔体内壁上，并在所述腔体内壁上形成水膜。