[实用新型]一种光罩盒缓冲定位装置

说明书

本实用新型公开了一种光罩盒缓冲定位装置，包括底座和主体，所述底座的上表面固定连接有固定柱，所述固定柱的一侧固定安装有滑杆，所述滑杆的表面滑动连接有第一滑块，所述滑杆的表面靠近第一滑块和固定柱之间套接有第一弹簧，所述第一滑块的上表面固定连接有支撑板，所述支撑板的上表面固定安装有滑槽，所述滑槽的表面滑动连接有第二滑块，所述第二滑块的上表面固定连接有支撑柱，所述支撑柱的一端固定安装有固定板，本实用新型通过滑杆、第一弹簧、滑槽和第二弹簧的设置，使装置在运输过程中所产生的冲击力，都可以使光罩盒稳定的移动到原来的位置，降低了运输过程中产生的损坏碰撞和摩擦，提高了保护效果，提高了装置的实用性。

技术领域

本实用新型属于缓冲定位装置相关技术领域，具体涉及一种光罩盒缓冲定位装置。

背景技术

光罩，在制作IC的过程中，利用光蚀刻技术，在半导体上形成图型，为将图型复制於晶圆上，必须透过光罩作用的原理，类似于冲洗照片时，利用底片将影像复制至相片上，业内又称光掩模版、掩膜版，材质：石英玻璃、金属铬和感光胶，该产品是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上，被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，其生产加工工序为：曝光，显影，去感光胶，最后应用于光蚀刻，由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒(如微粒、粉尘或有机物)都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的光罩必须保持绝对洁净，因此在一般的硅片工艺中，都提供无尘室的环境以避免空气中的颗粒污染，然而，目前的无尘室也无法达到绝对无尘状态，现代的半导体工艺皆利用抗污染的光罩盒进行光罩的保存与运输，以使光罩保持洁净。

现有的技术存在以下问题：现有的光罩盒缓冲定位装置在运输过程中，随着车辆的运行，光罩盒容易和主体发生震动、碰撞和摩擦，导致光罩盒在运输过程中产生损坏，保护效果不佳，不利于使用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光罩盒缓冲定位装置，以解决上述背景技术中提出的现有的光罩盒缓冲定位装置在运输过程中，随着车辆的运行，光罩盒容易和主体发生震动、碰撞和摩擦，导致光罩盒在运输过程中产生损坏，保护效果不佳，不利于使用的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光罩盒缓冲定位装置，包括底座和主体，所述底座的上表面固定连接有固定柱，所述固定柱的一侧固定安装有滑杆，所述滑杆的表面滑动连接有第一滑块，所述滑杆的表面靠近第一滑块和固定柱之间套接有第一弹簧，所述第一滑块的上表面固定连接有支撑板，所述支撑板的上表面固定安装有滑槽，所述滑槽的表面滑动连接有第二滑块，所述第二滑块的上表面固定连接有支撑柱，所述支撑柱的一端固定安装有固定板，所述固定板的上表面固定安装有主体。

优选的，所述固定板的下表面焊接有固定块，所述第二滑块的一侧固定安装有凸块，所述凸块的一侧靠中间位置处固定安装有固定杆，所述固定杆的表面套接有第二弹簧，所述固定杆的一端贯穿于固定块。

优选的，所述主体的内壁固定安装有缓冲垫，所述主体的顶部一侧固定连接有连接轴，所述连接轴的表面固定连接有上盖体，所述主体和上盖体通过连接轴固定连接。

优选的，所述支撑板的上表面固定安装有两个滑槽，两个所述滑槽关于支撑板对称设置，所述滑杆设置有两个，且两个所述滑杆关于底座对称设置。

优选的，所述主体为空腔结构，所述固定块的表面开设有通孔，且固定杆的一端通过通孔贯穿于固定块。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种光罩盒缓冲定位装置，具备以下有益效果：