[实用新型]压电式麦克风

权利要求书

1.一种压电式麦克风，包括具有腔体的基底、压电部以及连接所述基底和所述压电部的支撑部；所述压电部设有贯穿其上的缝隙，所述缝隙将所述压电部分隔为至少一个可自由振动的压电单元，每一所述压电单元包括与所述支撑部连接的固定部和自所述固定部沿第一方向朝所述缝隙延伸出且悬置于所述腔体的振动部，所述第一方向垂直于所述压电单元的振动方向；所述振动部具有远离所述固定部的振动端；其特征在于，所述压电式麦克风还包括设置于所述振动端的挡板，所述挡板包括沿第二方向延伸的主体部，所述主体部覆盖至少一部分所述振动端，且所述主体部靠近所述缝隙；所述第二方向垂直于所述第一方向和所述压电单元的振动方向。

2.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于：所述振动部还包括连接所述振动端与所述固定部的连接部，所述连接部包括沿所述第二方向相对且间隔设置的两个侧壁；所述挡板还包括自所述主体部的相对两端沿所述第一方向延伸的两个延伸部，每一所述延伸部覆盖至少一部分所述连接部，且每一所述延伸部靠近一个所述侧壁。

3.根据权利要求1或2所述的压电式麦克风，其特征在于：所述压电单元包括朝向所述腔体的第一侧面和背向所述腔体的第二侧面，所述挡板设置于所述第一侧面和/或所述第二侧面。

4.根据权利要求3所述的压电式麦克风，其特征在于：所述挡板包括固定于所述压电单元的上表面、与所述上表面相对间隔设置的下表面以及连接所述上表面和所述下表面的侧表面，所述侧表面包括朝向所述缝隙的第一侧表面，所述第一侧表面为弧型面或为自所述上表面向所述下表面倾斜延伸的斜面。

5.根据权利要求4所述的压电式麦克风，其特征在于：所述挡板沿所述压电单元的振动方向的投影至少部分落入所述缝隙内。

6.根据权利要求3所述的压电式麦克风，其特征在于：所述挡板包括间隔设置的多个子挡板。

7.根据权利要求3所述的压电式麦克风，其特征在于：所述挡板沿所述压电单元的振动方向的高度与所述压电单元厚度的比值范围为：0.05至10。

8.根据权利要求7所述的压电式麦克风，其特征在于：所述挡板沿所述压电单元的振动方向的高度与所述压电单元厚度的比值范围为：1至6。

9.根据权利要求3所述的压电式麦克风，其特征在于：所述振动端具有背向所述固定部的外表面，所述主体部至所述外表面沿所述第一方向的距离和所述振动部沿所述第一方向的长度的比值范围为：0至0.2。

10.根据权利要求9所述的压电式麦克风，其特征在于：所述主体部至所述外表面沿所述第一方向的距离和所述振动部沿所述第一方向的长度的比值范围为：0至0.02。

11.根据权利要求1或2所述的压电式麦克风，其特征在于：所述挡板由多晶硅制成。

12.根据权利要求3所述的压电式麦克风，其特征在于：所述基底具有围成所述腔体的环形侧壁，所述支撑部包括固定于所述环形侧壁且相对间隔设置的第一支撑部和第二支撑部，所述压电部包括通过所述第一支撑部固定于所述环形侧壁的第一压电单元以及通过所述第二支撑部固定于所述环形侧壁并与所述第一压电单元间隔形成所述缝隙的第二压电单元，所述第一压电单元包括固定于所述第一支撑部的第一固定部以及自所述第一固定部延伸出且悬置于所述腔体的第一振动部；所述第一振动部具有远离所述第一固定部的第一振动端；

所述第二压电单元包括通过所述第二支撑部连接于所述环形侧壁且与所述第一固定部相对设置的第二固定部和自所述第二固定部延伸出且悬置于所述腔体的第二振动部，所述第二振动部具有远离所述第二固定部的第二振动端，所述第二振动端与所述第一振动端相对且间隔设置以形成所述缝隙；所述挡板包括固定于所述第一振动端的第一挡板以及固定于所述第二振动端的第二挡板。

13.根据权利要求3所述的压电式麦克风，其特征在于：所述基底具有环形侧壁和与所述环形侧壁朝向腔体的一面连接且位于所述腔体内的支撑柱，所述固定部通过所述支撑部连接于所述支撑柱，所述压电单元包括自所述固定部的两侧分别朝相反方向延伸且分别与所述环形侧壁间隔设置的两个所述振动部；两个所述振动部分别通过所述缝隙与所述环形侧壁间隔设置。