[实用新型]一种尺寸消耗小且均匀的微小腔体电化学抛光装置

说明书

本实用新型公开了一种尺寸消耗小且均匀的微小腔体电化学抛光装置，包括电解槽，电解槽内部设置有电解液，电解液内部设置有定位模具，定位模具内部设置有方槽，方槽中部垂直设置有方形通孔，方槽内部设置有工具阴极，工具阴极前侧设置有微小腔体，定位模具一侧设置有电极孔，电极孔内部设置有电极，定位模具内部贯穿设置有螺孔；该一种尺寸消耗小且均匀的微小腔体电化学抛光装置通过设置工具阴极，可以达到实现对阴阳两极之间间距进行调节，从而确保抛光尺寸精度；通过设置搅拌泵，可以达到使被抛光工件表面成膜均匀；通过设置采用脉冲电源，可以达到提升抛光效果，减少微小腔体的尺寸消耗。

技术领域

本实用新型涉及精密抛光技术领域，具体为一种尺寸消耗小且均匀的微小腔体电化学抛光装置。

背景技术

微小腔体零件广泛应用于真空电子器件中，为了保证真空电子器件的传输损耗、增益、输出功率以及稳定性，微波传输通道内壁的粗糙度需要达到Ra0.2μm，目前加工后的微小腔体粗糙度仅能达到Ra0.4μm，为了使粗糙度达到要求，需要采用电化学抛光的方式，电化学抛光也称电解抛光，电解抛光是以被抛工件为阳极，不溶性金属为阴极，两极同时浸入到电解槽中，通以直流电而产生有选择性的阳极溶解，从而达到工件表面光亮度增大的效果。

现有技术存在以下缺陷或问题：

1、现有的抛光装置结构简单，仅对平面件有较好的抛光效果，但微小腔体的形状较复杂，对通道内的抛光效果较差，达不到Ra0.2μm的粗糙度要求；

2、现有的抛光装置对微小腔体抛光时，微小腔体的尺寸消耗较大，抛光精准度低，对抛光结果造成影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的不足之处，提供一种尺寸消耗小且均匀的微小腔体电化学抛光装置，以解决背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种尺寸消耗小且均匀的微小腔体电化学抛光装置，包括电解槽，所述电解槽内部设置有电解液，所述电解液内部设置有定位模具，所述定位模具内部设置有方槽，所述方槽中部垂直设置有方形通孔，所述方槽内部设置有工具阴极，所述工具阴极前侧设置有微小腔体，所述定位模具一侧设置有电极孔，所述电极孔内部设置有电极，所述定位模具内部贯穿设置有螺孔，所述螺孔内部设置有螺钉，所述工具阴极与微小腔体表面均设置有绝缘漆，所述电极远离定位模具的一端设置有导线，所述导线远离电机的一端设置有脉冲电源，所述电解槽内部设置有循环管道，所述循环管道远离电解槽的一端设置有搅拌泵。

作为本实用新型的优选技术方案，所述工具阴极的材料为不锈钢，所述工具阴极表面均涂覆有绝缘漆，所述微小腔体除通道外的其他部位均匀涂抹绝缘漆。

作为本实用新型的优选技术方案，所述工具阴极与微小腔体相嵌合，所述所述微小腔体与工具阴极的极间距离设于1-2mm之间，所述工具阴极与微小腔体接触贴合处采用绝缘胶进行绝缘。

作为本实用新型的优选技术方案，所述循环管道分为进液管与出液管，所述进液管与出液管分别与搅拌泵进液口、出液口固定连接，所述出液管远离搅拌泵的一端与方形通孔位置相对应。

作为本实用新型的优选技术方案，所述电极通过电极孔插入定位模具内部，所述电极材质为不锈钢，所述电极远离电极孔的一端通过焊锡与导线固定连接，所述导线表面与焊锡部位均匀涂覆绝缘漆。

作为本实用新型的优选技术方案，所述方槽宽度尺寸与工具阴极、微小腔体宽度尺寸相适配，所述工具阴极与微小腔体通过方槽与定位模具插接，所述方形通孔与方槽相垂直，所述定位模具通过方形通孔与电解液相接触。

作为本实用新型的优选技术方案，所述工具阴极与微小腔体均预先镶嵌在定位模具内部，所述定位模具数量为两组，所述定位模具四角均设有螺孔，所述螺钉与螺孔插接，所述定位模具通过螺钉固定连接。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种尺寸消耗小且均匀的微小腔体电化学抛光装置，具备以下有益效果：