[实用新型]常减压低温缓蚀剂的加注装置有效

专利信息
申请号: 202023123911.3 申请日: 2020-12-22
公开(公告)号: CN214390146U 公开(公告)日: 2021-10-15
发明(设计)人: 袁文平 申请(专利权)人: 上海友豪科技股份有限公司
主分类号: B01J19/18 分类号: B01J19/18;B01J4/00
代理公司: 上海怡恩专利代理事务所(普通合伙) 31336 代理人: 潘青青
地址: 201507 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 减压 低温 缓蚀剂 加注 装置
【权利要求书】:

1.常减压低温缓蚀剂的加注装置,包括反应釜(1)和设在反应釜(1)上的搅拌组件,用于对反应釜(1)内部进行搅拌,其特征在于:所述反应釜(1)的顶部固定设有壹号支架(2),所述壹号支架(2)的顶部固定设有供液泵(3),所述供液泵(3)输入端连通外部供液管(4),所述供液泵(3)输出端通过法兰盘(5)连通有接头组件,所述接头组件的输入端分别连通有软管(7),每个所述软管(7)均伸入反应釜(1)的内部,并呈环形分布,位于反应釜(1)内部的每个软管(7)端部连通有输出管(19),每个所述输出管(19)的一端均连通有喷头(8),所述反应釜(1)的外侧壁上分别安装有四个贰号支架(9),每个所述贰号支架(9)上分别设有拉拽组件,用于对反应釜(1)内部的输出管(19)进行拉拽,便于调节喷头(8)对反应釜(1)内侧壁的喷射角度。

2.根据权利要求1所述常减压低温缓蚀剂的加注装置,其特征在于:所述拉拽组件为气缸(10),所述气缸(10)固定端通过铰接件安装在贰号支架(9)上,所述气缸(10)活动端贯穿伸入反应釜内部,并铰接有夹块(11),所述夹块(11)可拆卸式套接在输出管(19)的外部。

3.根据权利要求2所述常减压低温缓蚀剂的加注装置,其特征在于:所述反应釜(1)上开设有通道(12),所述气缸(10)活动端通过通道(12)伸入反应釜(1)的内部,所述气缸(10)活动端上还套设有密封垫(13),所述密封垫(13)位于通道(12)内部,并与通道(12)动密封。

4.根据权利要求3所述常减压低温缓蚀剂的加注装置,其特征在于:所述通道(12)的孔径大于气缸(10)活动端的孔径。

5.根据权利要求2所述常减压低温缓蚀剂的加注装置,其特征在于:所述夹块(11)的形状为马蹄形,且所述夹块(11)的侧壁上分别开设有螺纹孔(14),所述输出管(19)套设在夹块(11)内,并利用螺栓螺纹套接在螺纹孔(14)中锁住输出管(19)。

6.根据权利要求1所述常减压低温缓蚀剂的加注装置,其特征在于:所述接头组件包括圆筒(6)和四个连接管(18),所述圆筒(6)的一端连接法兰盘(5)的一半,且所述圆筒(6)内部的通路与法兰盘(5)的一半的通路相连通,四个所述连接管(18)等间距设置在圆筒(6)的外侧壁上,并与圆筒(6)相连通,且每个所述连接管(18)的一端设有外螺纹,所述软管(7)的一端先通过连接管(18)上的外螺纹螺纹连接连接管(18)的一端上,后通过卡箍固定在连接管(18)的一端上。

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