[实用新型]石英管抽真空封堵装置

说明书

本实用新型涉及石英管抽真空封堵装置，工工作台一侧设有端部固定套，另一侧设有托架，端部固定套通过管道连接真空泵，托架上方设有电加热箱，托架上设有并排设置的转辊，所述端部固定套包括抽气管道、外固定帽、内固定帽，所述外固定帽与抽气管道连通，内固定帽位于外固定帽内部，内固定帽端部设有固定座，固定座与内固定帽通过轴承连接，固定座与外固定帽通过网格套连接。本实用新型抽真空过程中，帽塞与石英管同轴心设置；抽真空结束后，帽塞与石英管能够同步旋转，用于对石英管整个径向加热熔解后，使帽塞与石英管整圈粘连。

技术领域

本实用新型涉及抽真空装置，特别涉及石英管抽真空封堵装置。

背景技术

自然界的物质、材料按导电能力大小可分为导体、半导体和绝缘体三大类。半导体的电阻率在1mΩ·cm～1GΩ·cm范围。

Ⅲ-Ⅴ族化合物及单晶锗半导体衬底材料，产品主要应用于移动电话、卫星广播、雷达系统、激光器、光纤通讯、射线及光探测器、航天太阳能等领域。其以砷化镓、磷化铟和锗混合原材料经过高温加热生产加工而成，原材料需要在真空环境下高温焙烧，因此原材料需要装入模具中，模具摆放到石英管中，对石英管抽真空，石英管在管口处塞上帽塞后进行高温焙烧。为了确保石英管不泄漏，需要抽真空后，在真空下，通过高温火焰熔化石英管管口，将帽塞与石英管管口粘连密封。

发明内容

本实用新型的目的在于解决上述问题，提供石英管抽真空封堵装置，其可实现石英管抽真空后，在真空机上实现石英管的封堵。

为了解决上述问题，本实用新型采用的技术方案如下：

石英管抽真空封堵装置，工作台上方设有托架、电加热箱、端部固定套、真空泵，工作台一侧设有端部固定套，另一侧设有托架，端部固定套通过管道连接真空泵，托架上方设有电加热箱，托架上设有并排设置的转辊，两排转辊相对设置，托架端部设有调节丝杠，调节丝杠与工作台上的固定桩通过螺纹连接，托架底部与工作台通过直线导向轨连接，直线导向轨沿着工作台纵向设置，其特征在于，所述端部固定套包括抽气管道、外固定帽、内固定帽，所述外固定帽与抽气管道连通，内固定帽位于外固定帽内部，内固定帽端部设有固定座，固定座与内固定帽通过轴承连接，固定座与外固定帽通过网格套连接，内固定帽内腔体与石英管帽塞吻合，外固定帽内腔体与石英管吻合，外固定帽的内管壁上设有第一密封圈。

优化为，电加热箱包括箱体和箱盖，箱体和箱盖通过折页连接，箱盖内设有电加热丝，箱盖、箱体内部填充保温棉毡，电加热箱在靠近端部固定套侧的侧部设有圆孔，箱体内部设有支撑板，支撑板上设有搁置槽。

本实用新型的有益效果：

（1）所述外固定帽与抽气管道连通，内固定帽位于外固定帽内部，内固定帽用于对帽塞进行定位、固定，帽塞插入内固定帽的内腔中；固定座与外固定帽通过网格套连接，网格套用于加强固定座与外固定帽的连接，并且网格套不影响抽真空过程中通气；抽真空过程中，帽塞与石英管同轴心设置。

（2）托架端部设有调节丝杠，调节丝杠与工作台上的固定桩通过螺纹连接，托架底部与工作台通过直线导向轨连接，直线导向轨沿着工作台纵向设置。石英管设置于托架上，调节丝杠用于推送托架向端部固定套靠近，将石英管的开口端插入端部固定套中。

（3）内固定帽端部设有固定座，固定座与内固定帽通过轴承连接，抽真空结束后，将帽塞与石英管局部熔解粘结时，旋转石英管，内固定帽带动固定座旋转，帽塞与石英管能够同步旋转，用于对石英管整个径向进行加热熔解，使帽塞与石英管整圈粘连。

（4）托架上方设有电加热箱，电加热箱用于对石英管加热，促进物料中的气体、水分挥发出来，提高石英管内部真空度。

附图说明