[实用新型]石英砂成型用成型装置有效
申请号: | 202023100176.4 | 申请日: | 2020-12-21 |
公开(公告)号: | CN214060327U | 公开(公告)日: | 2021-08-27 |
发明(设计)人: | 王建军;李卫;李常国;何玉鹏;邓红 | 申请(专利权)人: | 宁夏富乐德石英材料有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00 |
代理公司: | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人: | 曹广涛 |
地址: | 750021 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石英砂 成型 装置 | ||
本实用新型涉及一种石英砂成型用成型装置,包括成型棒和顶针,成型棒包括直臂、底臂、连接直臂和底臂的圆弧臂,直臂上设有刮板,刮板为长方体,底臂端部设有通孔,顶针穿过通孔固定在成型棒上,通过直臂的长方形刮板,在石英砂成型阶段将石墨内胆端口部位石英砂刮薄,以实现熔融初期石英砂快速熔融并将端口密封,继续熔融可保证石英砂外侧高真空度并实现石英玻璃透明层内较少气泡,通过此方式熔制坩埚,可适用于客户长时间拉晶,减少晶棒断线次数。
技术领域
本实用新型涉及石英坩埚生产技术领域,尤其涉及一种石英砂成型用成型装置。
技术背景
目前,旋转模具真空法是制备石英坩埚的主要制造方法,即将石英砂在旋转的、具有一定孔洞的模具内表面成型,通过设置在模具内部的电极放电电弧加热石英砂使其熔化后冷却形成。在制备过程中,从模具的外侧抽真空,从而形成内侧为气泡空乏层(也称透明层)、外层为气泡复合层(也称气泡层)的这种具有双层复合结构的石英坩埚。石英坩埚作为拉制单晶硅棒的重要辅件,透明层的微气泡越少越有利于后续拉制单晶硅棒。通常在电弧法熔融石英坩埚过程中,通过真空泵快速将石英砂颗粒间的气体抽离而形成透明石英玻璃层,但是在石英坩埚制备成型阶段,石英砂在模具端口分布较厚,透气面积大,熔融过程中石英砂颗粒间气体无法被快速抽离,导致熔融后石英坩埚透明石英玻璃层内微气泡较多,影响坩埚品质。
实用新型内容
本实用新型内容的主要目的在于提供一种提高石英坩埚内表面质量的石英砂成型用成型装置。
一种石英砂成型用成型装置,包括成型棒和顶针,成型棒包括直臂、底臂、连接直臂和底臂的圆弧臂,直臂和底臂相互垂直,直臂的顶端延长弯曲形成把手,直臂上设有刮板,刮板的设置方向和底臂的设置方向相反,刮板为长方体,底臂端部设有通孔,顶针穿过通孔固定在成型棒上。
优选的,直臂上设有多个且竖向排布的第一固定孔,刮板上设有两个第二固定孔,刮板通过螺栓可拆卸的组装在直臂上,且刮板的高低位置可根据预制石英坩埚的高度沿着竖向排布的第一固定孔上下调节。
优选的,顶针包括有设有一段螺纹的螺纹部和安装在螺纹部上的两个螺母,顶针穿过通孔后,两个螺母安装在顶针的螺纹部上且分布在通孔的两侧。
上述石英砂成型用成型装置中,通过直臂的长方形刮板,在石英砂成型阶段将石墨内胆端口部位石英砂刮薄,以实现熔融初期石英砂快速熔融并将端口密封,继续熔融可保证石英砂外侧高真空度并实现石英玻璃透明层内较少气泡,提高石英坩埚内表面的质量,通过此方式熔制坩埚,可适用于客户长时间拉晶,减少晶棒断线次数。
附图说明
图1是石英砂成型用成型装置立体结构图。
图2是图1中A处放大图。
图3是图1中B处放大图。
图中:石英砂成型用成型装置100、成型棒10、直臂11、第一固定孔111、底臂12、通孔121、圆弧臂13、把手14、刮板15、第二固定孔151、顶针20、螺纹部21、螺母22。
具体实施方式
以下结合本实用新型的附图,对实用新型实施例的技术方案及技术效果做进一步的详细阐述。
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