[实用新型]一种单晶炉重锤检测装置有效

专利信息
申请号: 202023088523.6 申请日: 2020-12-21
公开(公告)号: CN214032748U 公开(公告)日: 2021-08-24
发明(设计)人: 时刚;周龙;王倩 申请(专利权)人: 西安创联新能源设备有限公司
主分类号: C30B15/20 分类号: C30B15/20
代理公司: 西安泛想力专利代理事务所(普通合伙) 61260 代理人: 李思源
地址: 710000 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶炉 重锤 检测 装置
【权利要求书】:

1.一种单晶炉重锤检测装置,包括单晶炉副室(4)、重锤(3)和单晶硅棒(5),单晶炉副室(4)内的顶面作为重锤(3)的最高上升位置;其特征在于,还包括光电传感器(8)、控制器和报警单元,所述单晶炉副室(4)的侧壁在靠近所述顶面的位置开设有观察窗,所述光电传感器(8)设置于观察窗外侧,用于检测重锤(3)或单晶硅棒(5)是否出现在感应区域;所述控制器的采集输入端与光电传感器(8)的信号输出端连接,控制器的响应输出端与报警单元连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉重锤检测装置,其特征在于,所述单晶炉副室(4)的侧壁在观察窗处向外凸起形成上安装板和下安装板,所述观察窗的上端与上安装板固定连接,观察窗的下端与下安装板固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉重锤检测装置,其特征在于,所述观察窗与上安装板和下安装板分别通过螺钉连接。

4.根据权利要求2所述的一种单晶炉重锤检测装置,其特征在于,所述观察窗与上安装板和下安装板连接位置的内侧还设置有密封圈(6)。

5.根据权利要求2所述的一种单晶炉重锤检测装置,其特征在于,所述上安装板或下安装板还在外侧连接有一固定板,所述光电传感器(8)与所述固定板安装固定。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉重锤检测装置,其特征在于,所述观察窗为透明玻璃板。

7.根据权利要求1所述的一种单晶炉重锤检测装置,其特征在于,所述感应区域的中心位置距离所述顶面20cm-50cm。

8.根据权利要求1所述的一种单晶炉重锤检测装置,其特征在于,所述光电传感器(8)在重锤(3)上升出现在感应区域时通过所述信号输出端发出触发信号给所述控制器。

9.根据权利要求1所述的一种单晶炉重锤检测装置,其特征在于,所述报警单元为蜂鸣器或声光组合报警器。

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