[实用新型]取像装置

权利要求书

1.一种取像装置，其特征在于，包含：

一壳体，包含：

一外壳，包含一第一透光部；以及

一内壳，位于该外壳内并包含一第二透光部，该外壳与该内壳彼此隔离而定义一间隙于彼此之间，该第二透光部对齐该第一透光部，该内壳定义一腔室于其中，该腔室配置以容置一待测物；以及

一冷却元件，配置以对该待测物降温；

一取像元件，配置以通过该第一透光部与该第二透光部而获取该待测物的一影像；以及

一处理器，电性连接该冷却元件与该取像元件。

2.如权利要求1所述的取像装置，其特征在于，该第一透光部与该第二透光部分别为玻璃层。

3.如权利要求1所述的取像装置，其特征在于，该间隙呈真空。

4.如权利要求1所述的取像装置，其特征在于，还包含：

一第一气体供应元件，配置以向该间隙输送一第一洁净干燥气体。

5.如权利要求1所述的取像装置，其特征在于，还包含：

一第二气体供应元件，配置以向该外壳的一外表面输送一第二洁净干燥气体。

6.如权利要求1所述的取像装置，其特征在于，还包含：

一温度感测器，设置于该待测物，该温度感测器信号连接该处理器，并配置以感测该待测物的一温度。

7.如权利要求1所述的取像装置，其特征在于，还包含：

一电力元件，电性连接该待测物，该电力元件信号连接该处理器，并配置以向该待测物提供一电力。

8.如权利要求1所述的取像装置，其特征在于，该壳体还包含：

多个承托部，设置于该内壳内，并配置以承托该待测物，使得该待测物与该内壳隔离。

9.如权利要求1所述的取像装置，其特征在于，该冷却元件配置以向该腔室输送一冷却流体，该壳体还包含一排气管，该排气管穿越该外壳与该内壳，并配置以把该冷却流体从该腔室排出该壳体外。

10.如权利要求9所述的取像装置，其特征在于，该冷却元件对齐该取像元件。

11.如权利要求9所述的取像装置，其特征在于，该排气管远离该冷却元件。

12.如权利要求1所述的取像装置，其特征在于，该冷却元件配置以抵接该待测物。

13.如权利要求1所述的取像装置，其特征在于，该外壳具有一第一开口，相对并对齐该第一透光部，该内壳具有一第二开口，相对并对齐该第二透光部，该壳体还包含一管体，该管体包含相对的一第一端以及一第二端，该第一端位于该腔室内，并配置以抵接该待测物，该第二端位于该第二开口并连接该内壳。

14.如权利要求13所述的取像装置，其特征在于，该外壳具有一第一边缘，定义该第一开口，该内壳具有一第二边缘，定义该第二开口，该第一边缘与该第二边缘之间定义一第三开口，该第三开口连通该间隙。

15.如权利要求13所述的取像装置，其特征在于，该第一开口小于该第二开口。

16.如权利要求13所述的取像装置，其特征在于，还包含：

多个探针，配置以通过该管体而抵接该待测物。