[实用新型]一种自清洁抛光液输送装置

说明书

本实用新型公开了一种自清洁抛光液输送装置，包括固定板、外壳和水箱，所述外壳内固定安装有第二连接管，且第二连接管的底端面嵌入固定有第一连接管，所述第一连接管的底端面嵌入固定有出液管，且出液管通过第一连接管与第二连接管液体连通，所述外壳的底端面焊接有支撑架，且支撑架的内壁焊接有隔板，所述隔板的后端面固定安装有液压杆，且液压杆上安装有固定板，所述固定板的顶端面安装有雾化喷头，所述外壳的顶端面安装有水箱，且水箱内固定安装有水泵，所述水泵上安装有伸缩管，且伸缩管背离水泵的一端嵌入固定有固定管，所述固定管与伸缩管液体连通。本实用新型具备操作便捷，后期维护方便快捷和实用性更佳的优点。

技术领域

本实用新型涉及抛光液输送技术领域，具体为一种自清洁抛光液输送装置。

背景技术

自清洁抛光液输送装置是指：大规模集成电路生产过程中,晶圆需要经过多道工序最终形成产品,化学机械抛光是其中的一道关键工序。在化学机械抛光工艺中,抛光液输送装置悬在抛光盘上方,将抛光液从供应源输送到抛光盘合适的落点,抛光液输送装置的洁净程度会影响到晶圆抛光缺陷的数量和抛光质量的稳定性。

但现有的抛光液输送装置抛光液会飞溅到抛光液输送装置的表面,如果抛光液输送装置表面的抛光液得不到及时清理,抛光液会结晶,抛光液输送装置的悬臂表面的固体颗粒会越聚越多。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种自清洁抛光液输送装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种自清洁抛光液输送装置，包括固定板、外壳和水箱，所述外壳内固定安装有第二连接管，且第二连接管的底端面嵌入固定有第一连接管，所述外壳的底端面焊接有支撑架，且支撑架的内壁焊接有隔板，所述隔板的后端面固定安装有液压杆，且液压杆上安装有固定板，所述固定板的顶端面安装有雾化喷头，所述外壳的顶端面安装有水箱，且水箱内固定安装有水泵，所述水泵上安装有伸缩管，且伸缩管背离水泵的一端嵌入固定有固定管。

优选的，所述第一连接管的底端面嵌入固定有出液管，且出液管通过第一连接管与第二连接管液体连通。

优选的，所述固定板的后端面贴合安装有第一固定杆，第一固定杆上滑动套接有第二固定杆，且第二固定杆背离第一固定杆的一端焊接在隔板上。

优选的，所述固定管与伸缩管液体连通，且固定管与雾化喷头液体连通。

优选的，所述水箱的顶端面嵌入固定有进液管，且进液管与水箱液体连通。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置外壳，人员通过第二连接管对抛光液进行输送后，为保证外壳和出液管外表面的清洁，人员可打开液压杆，液压杆启动时推动固定板使雾化喷头到达外壳和出液管的底端面，到达后人员通过在水箱内加注清洁液体后外接电源打开水泵，水泵启动抽取清洁液体通过伸缩管进入固定管内，清洁液体进入固定管内后通过雾化喷头对外壳和出液管外表面进行喷淋和清洁，使清洁效率更高，保证外壳和出液管外表面的清洁度，并且人员清洁后打开液压杆拉动固定板离开外壳和出液管的底端面，保证出液管的抛光液正常出液，使操作便捷，清洁方便，后期维护方便快捷，实用性更高。

附图说明

图1为本实用新型的主视结构示意图；

图2为本实用新型的侧视结构示意图；

图3为本实用新型的固定板俯视结构示意图。

图中：1、支撑架；2、固定板；3、固定管；4、隔板；5、雾化喷头；6、出液管；7、第一连接管；8、第二连接管；9、外壳；10、水箱；11、进液管；12、水泵；13、伸缩管；14、液压杆；15、第一固定杆；16、第二固定杆。

具体实施方式