[实用新型]一种电磁片扩散尾气排放处理装置

说明书

本实用新型公开了一种电磁片扩散尾气排放处理装置，其特征在于，包括：冷却箱；支撑柱，所述冷却箱的底端设置有多个支撑柱；控制器，所述冷却箱的前端设置有控制器；进液管，所述冷却箱的前端顶部设置有进液管的一端；进气管，所述冷却箱的顶端一侧设置有进气管的一端；内板，所述冷却箱的内腔中部设置有内板。该电磁片扩散尾气排放处理装置，通过将冷却液放置在冷却壳内，可以持续对填装瓶内的尾气进行冷却，可使尾气得到充分的冷却，并通过电机控制填装瓶倒出液体，操作简单，实用性较强。

技术领域

本实用新型涉及电磁片技术领域，具体为一种电磁片扩散尾气排放处理装置。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺；

现有的扩散炉电磁片扩散尾气排放处理装置在进行冷却时，往往尾气直通过冷却箱进行冷却，当尾气的流速较快时，会有较多的尾气未经过冷却成废液而直接排出，实用性较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电磁片扩散尾气排放处理装置，以至少解决现有技术的电磁片扩散尾气排放处理装置无法冷却彻底的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种电磁片扩散尾气排放处理装置，其特征在于，包括：

冷却箱；

支撑柱，所述冷却箱的底端设置有多个支撑柱；

控制器，所述冷却箱的前端设置有控制器；

进液管，所述冷却箱的前端顶部设置有进液管的一端；

进气管，所述冷却箱的顶端一侧设置有进气管的一端；

内板，所述冷却箱的内腔中部设置有内板。

优选的，所述进液管与冷却箱的连接处设置有密封套，所述进气管与冷却箱的连接处设置有止回阀，所述进液管和进气管的另一端均延伸进冷却箱的内腔。

优选的，所述冷却箱的内腔一侧设置有冷却壳，所述进液管的另一端延伸进冷却壳内，所述冷却壳一端表面为弧形。

优选的，所述内板的前端中部沿左右方向开设有滑槽，所述冷却箱的一端设置有电机，所述电机的输出端通过联轴器锁紧有螺杆的一端，所述螺杆的另一端延伸进滑槽的内端。

优选的，所述螺杆的表面螺纹连接有滑块，所述滑块滑动设置在滑槽内，所述滑块的前端滑动设置有连接块，所述滑块的内腔左右两端均开设有内滑槽，所述连接块的两端均设置有侧块，所述侧块设置在内滑槽内，所述内滑槽与侧块之间设置有润滑剂。

优选的，所述连接块的前端转动设置有转杆的一端，所述转杆的表面过盈配合有齿轮，所述转杆的另一端设置有夹持块，所述夹持块的内端设置有填装瓶。

优选的，所述内板的表面设置有齿块，所述齿块设置在滑槽的上端，所述滑槽的一端底部内板的表面设置有伸缩气缸，所述冷却箱的内腔另一端底部设置有下液块，所述下液块的底端设置有排出管的一端，所述排出管的另一端延伸出冷却箱的外端。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该电磁片扩散尾气排放处理装置，通过将冷却液放置在冷却壳内，可以持续对填装瓶内的尾气进行冷却，可使尾气得到充分的冷却，并通过电机控制填装瓶倒出液体，操作简单，实用性较强。

附图说明

图1为本实用新型立体结构示意图；

图2为图1的主视剖视图；

图3为图1的侧视剖视图；

图4为图2的内板表面局部结构示意图。