[实用新型]一种晶圆金属环存放架

说明书

本实用新型提出了一种晶圆金属环存放架，包括顶框和底杆，所述底杆之间通过连接片固定连接，所述顶框和所述底杆之间设有分层框和条形的分隔板，两个所述分层框之间形成存放槽，所述顶框和所述底杆内侧设置有竖直对应的凸块，所述凸块之间连接有螺纹杆。本实用新型通过分层框和分隔板之间的相互配合形成存放槽，同时结合螺纹杆与凸块的配合，能够精准的对晶圆金属环进行限位固定，避免出现杂乱的情况，而且本实用新型能够自由调节分层框之间分隔板的数量，以此调节存放槽的厚度，来满足不同厚度的晶圆金属环的存放，避免出现一格多放等情况；本实用新型通过设置分层框对相邻的两个存放槽进行分隔，对金属环具有分隔、导向的作用。

技术领域

本实用新型涉及激光半导体技术领域，尤其是涉及一种晶圆金属环存放架。

背景技术

现有晶圆金属环存放架主要存在以下三个问题：

1、存放架的每个存放晶圆金属环的格子由一左一右两个槽轨构成,但是相邻的每个格子之间没有进行分隔,放置晶圆环的时候经常会出现晶圆金属环一边放在A格子，一边放在B格子的情况，如果刻意去对位置会比较浪费时间，不方便；

2、存放架的格子间隙较大，一方面会出现一个格子收纳多个环的情况，另一方面浪费了有效空间；

3、相邻两个存放槽之间没有进行分隔，放置金属环时容易出现金属环的两侧分别放置在不同的存放槽内，使金属环发生倾斜，不仅占用空间，而且容易损坏。

实用新型内容

本实用新型提出一种晶圆金属环存放架，以解决上述背景技术中提出的传统的晶圆金属环存放架存放晶圆金属环时容易出现杂乱，需要刻意对比位置，以及格子间距离固定，不能根据晶圆金属环的厚度来自由调整，而且容易出现金属环的两侧分别放置在不同的存放槽内等问题。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种晶圆金属环存放架，包括“门”字型的顶框和两根条形的底杆，所述底杆之间通过连接片固定连接，所述顶框和所述底杆之间间隔交错设置有“门”字型的分层框和条形的分隔板，所述分隔板的内径小于所述分层框的内径尺寸，且两个所述分层框之间形成存放槽，所述顶框和所述底杆内侧设置有竖直对应的凸块，所述凸块之间连接有螺纹杆。

优选的，所述顶框内侧设置有两根水平的加强筋，所述顶框的底部设置有加强片。

优选的，两根所述加强筋之间活动安装有活动提手。

优选的，所述顶框和所述底杆的两侧端部设置有相互对应的固定部，所述固定部上开设有固定孔。

优选的，所述分层框和所述分隔板的两侧端部设置有定位部，所述定位部与所述固定部竖直对应，所述定位部上开设有与所述固定孔竖直对应的定位孔，且所述固定孔和所述定位孔内设置有所述螺纹杆。

优选的，所述底杆的内侧开设有滑槽，所述连接片通过螺钉固定在所述滑槽内部。

优选的，所述凸块上开设有限位孔，所述限位孔与所述螺纹杆相互配合。

采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果为：

本实用新型通过分层框和分隔板之间的相互配合形成存放槽，同时结合螺纹杆与凸块的配合，能够精准的对晶圆金属环进行限位固定，避免出现杂乱的情况，而且本实用新型能够自由调节分层框之间分隔板的数量，以此调节存放槽的厚度，来满足不同厚度的晶圆金属环的存放，避免出现一格多放等情况；本实用新型通过设置分层框对相邻的两个存放槽进行分隔，对金属环具有分隔、导向的作用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。