[实用新型]一种喷嘴快速更换的液体涂覆装置

说明书

一种喷嘴快速更换的液体涂覆装置，包括工作箱、连接块以及喷头，所述工作箱内置工作空腔，所述工作空腔前端设置箱门，所述工作空腔底端设置工作台，所述工作台顶端设置支撑杆，所述支撑杆顶端设置夹具，所述工作空腔左侧侧壁滑动设置固定板，所述固定板底端设置定位板，所述定位板顶端设置液压杆，所述液压杆输出端与固定板连接，所述固定板右端设置固定槽，所述固定槽内转动设置螺纹杆，所述固定板后端设置驱动电机，所述驱动电机输出端与螺纹杆连接，通过固定板、连接块以及安装块的设置，可以便于调整喷头的位置，从而提升涂覆效果，通过限位杆以及限位孔的设置，可以便于对喷头进行拆卸安装，从而提升涂覆效率。

技术领域

本实用新型涉及晶圆涂覆技术领域，具体为一种喷嘴快速更换的液体涂覆装置。

背景技术

通常，已知为用于将诸如树脂的液体涂覆到基板或基板上的部件的装置的液体涂覆装置从用于供给基板的料斗取出涂覆液体前的基板以将基板运送到作业位置、将液体涂覆到处于作业位置的基板、然后将基板运离作业位置以使基板容纳在用于收集基板的料斗中，但是在喷嘴发生损坏时不方便及时更换，从而影响涂覆效率。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种喷嘴快速更换的液体涂覆装置。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种喷嘴快速更换的液体涂覆装置，包括工作箱、连接块以及喷头，所述工作箱内置工作空腔，所述工作空腔前端设置箱门，所述工作空腔底端设置工作台，所述工作台顶端设置支撑杆，所述支撑杆顶端设置夹具，所述工作空腔左侧侧壁滑动设置固定板，所述固定板底端设置定位板，所述定位板顶端设置液压杆，所述液压杆输出端与固定板连接，所述固定板右端设置固定槽，所述固定槽内转动设置螺纹杆，所述固定板后端设置驱动电机，所述驱动电机输出端与螺纹杆连接，所述连接块内置螺纹孔，所述连接块可滑动设置在固定槽内且螺纹杆穿过螺纹孔，所述连接块右侧设置安装块，所述安装块右侧设置更换槽，所述更换槽槽上下两侧侧壁设置限位孔，所述喷头左侧的上下两端分别设置安装槽，所述安装槽内滑动设置限位杆，所述安装槽内设置复位弹簧，所述复位弹簧一端与限位杆连接，复位弹簧另一端与安装槽槽底连接，所述工作箱顶端设置水箱，所述水箱内设置待涂覆的液体，所述工作箱顶端位于水箱一侧设置水泵，所述水泵输入端与水箱连接，所述水泵输出端与喷头连接。

为了便于对晶圆进行夹持，本实用新型改进有，所述夹具包括夹持杆以及横杆，所述支撑杆上方设置夹持孔，所述夹持孔左右两侧分别滑动设置横杆，所述夹持孔内设置夹持弹簧，所述夹持弹簧两端分别与横杆连接，所述横杆远离夹持弹簧一侧的顶端设置夹持杆。

为了便于使涂覆过程中工作空腔内的气流稳定，本实用新型改进有，所述工作空腔右侧侧壁设置出气孔。

为了防止外界环境中的杂质进入工作空腔，本实用新型改进有，所述出气孔内设置过滤网。

为了控制晶圆进行旋转，从而提升涂覆效果，本实用新型改进有，所述支撑杆与工作台转动连接，所述工作台内设置旋转电机，所述旋转电机输出端与支撑杆连接。

为了便于工作箱的移动，本实用新型改进有，所述工作箱底端设置万向轮。

为了便于观察涂覆过程，本实用新型改进有，所述箱门设置观察窗。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种喷嘴快速更换的液体涂覆装置，具备以下有益效果：

该喷嘴快速更换的液体涂覆装置，通过固定板、连接块以及安装块的设置，可以便于调整喷头的位置，从而提升涂覆效果，通过限位杆以及限位孔的设置，可以便于对喷头进行拆卸安装，从而在喷嘴发生损坏时可以及时更换，从而提升涂覆效率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；